휘발성 화학물질이 있는 곳에서 적외선 가열을 사용할 때는 안전을 반드시 유지해야 합니다. 반도체 세척 과정에서는 종종 적외선 가열 램프를 가연성이나 폭발성이 있는 기체가 채워진 공간 한가운데에 위치시키게 됩니다. 이는 매우 위험한 상황입니다. 조금만 스파크가 발생하거나 절연 처리에 문제가 생기면 큰 재앙이 일어날 수 있습니다.
그래서 우리는 단순히 와트수만 고려하는 것이 아니라, 밀봉 처리에도 많은 신경을 씁니다. 비결은 바로 밀봉에 있습니다. 우리는 전기 연결부가 화학물질과 전혀 접촉하지 않도록 이중 밀봉 방식을 사용합니다. 가장 문제가 되는 부분은 전력선이 석영 케이스에 연결되는 부분입니다. 이를 해결하기 위해 우리는 고온에도 견딜 수 있으며 화학물질과 반응하지 않는 특수한 유리-금속 밀봉재와 접착제를 사용합니다.
간단히 말해, 만약 그러한 부식성 기체가 회로 속으로 들어가면 단락이 발생합니다. 우리의 밀봉 처리 덕분에 할로겐 가스는 램프 내부에 남고, 유해한 화학물질은 바깥쪽에 남습니다.
화학적 스트레스 대응
만약 재료가 그러한 환경을 견디지 못한다면, 급격히 손상될 것입니다. 우리는 특수 코팅 처리된 고순도 석영을 사용하여 램프가 오염되거나 파손되는 것을 방지합니다. 문제는 석영 표면에 스크래치가 생기면 열이 고르게 분산되지 않는다는 것입니다. 그 결과 웨이퍼에 과열 부위가 생기게 되는데, 이는 결코 원하는 결과가 아닙니다. 우리는 열이 전체 기판에 고르게 분산되도록 하는 코팅재를 선택합니다.
타협점들
물론, 이러한 안전 조치들로 인해 램프의 크기가 약간 커집니다. 밀봉 처리로 인해 조립체의 길이도 조금 늘어나므로, 램프를 제대로 설치하기 위해서는 히터 브래킷의 위치를 조정해야 할 수도 있습니다. 또한, 이러한 보호 코팅들은 순수한 적외선 에너지의 일부를 차단합니다. 따라서 목표 온도에 도달하기 위해서는 전력 설정을 높이거나 웨이퍼를 좀 더 오랫동안 가열해야 할 수도 있습니다.
마지막으로, 배선에는 반드시 폭발 방지 기능이 있는 전선을 사용해야 합니다. 이렇게 함으로써 안전성을 확보할 수 있습니다.