웨이퍼 건조를 위한 적외선 방식과 대류 방식의 비교

300mm 공정에서는 예기치 않은 가동 중단과 미세한 입자들이 문제가 됩니다. 오랫동안 대류식 오븐이 건조 및 굽기 작업을 수행해왔지만, 그 속도가 느리고 온도 변동이 발생하며, 공기 흐름으로 인해 미세한 입자들이 생겨나어 제품의 품질에 영향을 줍니다. 반면, 적외선...