왜 무연 반도체 제조에 적외선 경화 방식을 사용하는가? 요즘 웨이퍼 처리 장비를 설계하는 것은 꽤 어려운 일입니다. 새로운 무연 및 친환경 규정들 때문에 건조와 경화 과정에서 많은 압력이 가해집니다. 대부분의 사람들은 여전히 구식의 대류식 오븐을 사용하지만, 이러한...

반도체 제조 현장에서의 상황은 익숙할 것이다. 검사 단계에서 0.5°C의 온도 편차가 발생하면 포토레지스트 프로파일이 이동하고 CD 바이어스가 변하며, 갑자기 재작업이 필요한 웨이퍼가 대량으로 나타난다. 열은 변수로 작용해서는 안 되며, 반드시 제어 가능한 공정 변수...