MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

서론 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 과정에서 문제가 발생하면 어떻게 될까요? 열이 극도로 높아지고, 시스템은 그 한계에 도달하게 됩니다. 최악의 상황을 상상해보세요. 적외선 램프가 폭발하는 것입니다. 단순히 고장나는 것이 아니라, 폭발하여 파편들이 아주 깨끗한 웨...