서론 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 과정에서 문제가 발생하면 어떻게 될까요? 열이 극도로 높아지고, 시스템은 그 한계에 도달하게 됩니다. 최악의 상황을 상상해보세요. 적외선 램프가 폭발하는 것입니다. 단순히 고장나는 것이 아니라, 폭발하여 파편들이 아주 깨끗한 웨...

제조 공장을 오랫동안 돌아다녀보면, 사소한 요소들에도 주의를 기울이는 법을 배우게 됩니다. 단 한 번의 웨이퍼 건조 과정에서도 스프레드시트에 표시된 것보다 더 많은 에너지가 소모될 수 있습니다. 또한 열 변동으로 인해 포토레지스트의 성능이 저하될 수 있습니다. 이런...

제조 현장에서는 건조실의 온도가 1°C만 변동해도 전체 제품을 폐기해야 합니다. 웨이퍼는 깨끗한 상태에서 나오지만 여전히 약간의 수분이 남아 있습니다. 그 다음 단계인 소프트 베이크나 하드 베이크, 엣지 비드 제거 과정에서는 온도 변동을 허용할 수 없습니다. 저희는...

300mm 공정에서는 예기치 않은 가동 중단과 미세한 입자들이 문제가 됩니다. 오랫동안 대류식 오븐이 건조 및 굽기 작업을 수행해왔지만, 그 속도가 느리고 온도 변동이 발생하며, 공기 흐름으로 인해 미세한 입자들이 생겨나어 제품의 품질에 영향을 줍니다. 반면, 적외선...