파편을 막으세요: 반사판의 설계가 왜 중요한지 고부하 상태에서 웨이퍼를 가열할 때, 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그건 진짜 악몽과도 같습니다. 쿼츠 튜브가 파손되면 유리 조각들과 할로겐 침전물들이 웨이퍼 위로 쏟아져 내립니다. 단 한 번의 고장만으...

웨이퍼 가공 과정에서 발생하는 튜브 파손의 악몽을 막는 방법 반도체 공장에서는 단 한 개의 램프가 고장 나더라도 전체 웨이퍼 제품군이 망가질 수 있습니다. 이는 치명적인 문제입니다. 과도한 부하로 인해 적외선 튜브가 파손되면, 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라,...