왜 적외선 가열에 금 반사체를 사용하는가? 스마트 제조 공장에서는 단순히 에너지를 높이는 것만으로는 충분하지 않습니다. 중요한 것은 그 열이 실제로 어디로 가는지입니다. 에너지를 그냥 낭비한다면 돈만 낭비하는 셈입니다. 그래서 우리는 적외선 전구와 함께 금 반사체를...

리소그래피 공정에서, 포토레지스트를 부드럽게 건조시키는 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생긴다면 그건 허용될 수 있는 범위가 아닙니다. 그런 상황이 발생하면 웨이퍼들이 쌓이고, 작업 일정도 지연되며, 열 제어가 제대로 이루어지지 않으면 입자 수도 증가합니다. 우리는...

리소그래피 현장에서 드리프트는 용납할 수 없습니다. 포토레지스트 베이크 중 0.3°C의 변화로 300 mm 웨이퍼 전체 런을 폐기해야 할 수 있습니다. 프로세스 카드에서 요구하는 정확한 위치에 열이 도달해야 하며, 이는 교대마다, 로트마다 반복되어야 합니다. 내부에서...