웨이퍼 가열을 위한 기술 지원

팹에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C의 온도 변동만 있어도, 정밀한 사진현상 과정이 엉망이 되고 웨이퍼가 폐기되는 결과를 초래할 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 난방 플랫폼을 개발했습니다. 이 플랫폼을 통해 공정 중에 발생하는 온도 변동을 최소화할...