왜 진공 적외선이 반도체 경화에 가장 적합한 방법인가?
반도체 산업은 마침내 “친환경적이고 납이 없는” 표준을 향해 나아가고 있습니다. 이제 그럴 때가 되었습니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐이나 강력한 화학물질을 사용해 왔지만, 이러한 방식들은 에너지를 낭비할 뿐만 아니라 웨이퍼에 유해한 잔여물을 남깁니다.
이러한 문제를 해결하기 위해서는 진공 환경에서 작동하는 적외선 히터가 최적의 해답입니다.
작동 원리
진공 상태에서는 공기가 전혀 없습니다. 공기가 없으니 대류도 일어나지 않습니다. 공기가 없으면 열기를 불어넣을 수도 없습니다. 바로 여기서 적외선이 유용해집니다. 적외선은 전자파를 이용해 직접 기판에 열을 전달합니다. 거대한 챔버나 수천立方피트 크기의 공간을 따뜻하게 하는 데 시간을 낭비할 필요가 없습니다. 목표물만을 정확하게 가열할 수 있습니다.
속도도 매우 빠릅니다. 이 방식은 분명히 가장 효율적인 방법입니다.
과정의 단순화
납이 없는 솔더나 친환경 수지는 다루기 까다롭습니다. 이러한 물질들은 매우 정확한 온도 조절이 필요합니다. 너무 높은 온도에서 가열하면 칩이 손상됩니다. 반대로 너무 낮은 온도에서는 경화가 제대로 이루어지지 않아 원료가 낭비됩니다.
우리는 단파 적외선을 사용하여 온도를 빠르고 정확하게 올립니다.
가장 좋은 점은, 과거에 건조 속도를 높이기 위해 사용되던 휘발성 유기화합물(VOCs)을 사용할 필요가 없다는 것입니다. 공기와 화학물질을 제거함으로써 오염 없는 공정을 실현할 수 있습니다. 모두에게 좋은 방법입니다.
주의해야 할 점들
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 고강도 적외선 히터는 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 생산 속도를 높이는 데는 좋지만, 하드웨어에는 큰 부담이 됩니다.
냉각수 시스템이 램프의 실제 출력에 맞게 설계되지 않았다면 시스템이 고장날 수 있습니다. 적외선 출력과 챔버의 열 배출 능력을 적절히 조절하지 않으면 가스가 새거나 밀폐 구조가 손상될 수 있습니다.
몇 가지 팁을 드리자면, 고온에 견딜 수 있는 전선을 사용하세요. 그리고 진공 플랜지가 석영관의 열팽창을 견딜 수 있는지 반드시 확인하세요. 그렇지 않으면 램프가 켜질 때마다 누수 문제가 발생할 것입니다.