Di bilik pengeringan tersebut, perubahan suhu sebanyak kurang dari 1°C sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan kumpulan wafer yang diproses. Wafer yang keluar dari bilik pengeringan masih mengandungi sedikit kelembapan. Langkah seterusnya, seperti proses pembakaran atau pembersihan permukaan wafer, memerlukan suhu yang stabil. Oleh itu, sistem pemanas yang digunakan dalam sistem pengeringan wafer ini direka untuk berfungsi dengan baik dalam keadaan seperti ini, bukannya untuk menangani masalah yang timbul selepas proses pengeringan selesai.
Apa yang penting dalam sistem ini
Pemanas ini menggunakan unsur-unsur inframerah gelombang pendek yang dapat bertindak dengan cepat dan memberikan suhu yang stabil. Di kawasan yang aktif, keseragaman suhu wafer kekal pada tahap ±0.1°C, sehingga profil lapisan fotoresist tidak berubah dari satu kumpulan wafer ke kumpulan wafer yang lain. Reka bentuk sistem ini sesuai untuk digunakan di bilik bersih yang berada dalam kelas 1 hingga 100. Bahan-bahan yang digunakan juga tidak menghasilkan gas berbahaya, dan permukaannya tidak akan melepaskan zarah-zarah kecil. Dalam sistem yang teruji, unit ini dapat beroperasi 24/7 tanpa gangguan, dan ketepatan suhu tetap terjaga walaupun setelah ribuan kitaran pengeringan.
Mengapa cara ini berkesan dalam praktiknya
Kontrol suhu semasa proses pengeringan wafer sangat penting. Pemanas ini mampu mencapai kadar kenaikan suhu yang diperlukan tanpa melebihi batas yang ditetapkan. Dengan demikian, masa yang diperlukan untuk mengeringkan wafer dapat dikurangkan tanpa membahayakan ketebalan lapisan fotoresist atau kualiti wafer tersebut. Penggunaan gelombang inframerah juga menjadikan penggunaan tenaga lebih efisien. Dengan begitu, keperluan untuk pemeliharaan menjadi lebih sedikit, dan stok alat ganti pun berkurangan. Bagi para jurutera, ini bermakna kadar pengeluaran yang lebih tinggi, serta sistem kawalan kualiti yang lebih baik, tanpa perlu mengubah reka bentuk stesen pengeringan.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Anda perlu memastikan geometri bilik pengeringan dan arus udara sesuai. Kami menyediakan gambaran dimensi, peralatan pemasangan, dan profil kalibrasi. Namun, pastikan antaramuka alat tersebut berfungsi dengan baik sebelum digunakan. Pastikan saluran pengudaraan bebas daripada halangan, dan kelembapan udara serta jumlah zarah di dalam bilik berada dalam julat yang ditetapkan. Lakukan ujian singkat untuk memastikan semuanya berfungsi dengan baik, kemudian barulah anda boleh menggunakan sistem tersebut dengan yakin.