Di bahagian pengolahan fotorezistan, perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pemanasan lembut bukanlah sesuatu yang boleh diterima – ia akan menyebabkan penurunan kualiti produk yang dihasilkan. Wafer-wafer akan bertimbun, jadual pengeluaran akan terganggu, dan jumlah zarah berbahaya akan meningkat apabila kawalan suhu tidak efektif. Kami telah mencipta mentol pemanas inframerah jenis Ruby (230V) untuk memastikan suhu tetap berada dalam julat yang ditetapkan, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Mentol Ruby mengeluarkan gelombang inframerah pendek dengan respons yang cepat dan kawalan spektrum yang tepat. Dengan voltan 230V, ia boleh digunakan bersama peralatan biasa tanpa memerlukan pengubah voltan atau kabel tambahan. Di kawasan aktif, keseragaman suhu pada setiap wafer adalah sekitar ±0.1°C, manakala kebolehulangan antara kitaran pemanasan pula adalah sekitar ±0.5°C. Lapisan kuarsa dan bahan tambahan dalam mentol Ruby membantu mengurangkan pelepasan gas dan mengurangkan pembentukan zarah berbahaya – ini memungkinkan penggunaan ruang bersih kelas 1–100. Kami telah menggunakan mentol ini secara berterusan selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan prestasi kurang dari 5%. Reka bentuk filamen mentol ini memastikan rintangan yang stabil walaupun berlaku perubahan suhu.
Mengapa ia sesuai untuk pengeluaran:
Dalam proses fotorezistan, pemanasan lembut bertujuan untuk memudahkan proses penyejatan pelarut dan mengurangkan tekanan pada lapisan fotorezistan; manakala pemanasan keras pula bertujuan untuk menstabilkan pola pada permukaan wafer sebelum proses etching dilakukan. Mentol Ruby membantu menstabilkan kedua-dua proses ini, dengan masa tindak balas yang cepat dan penyejukan yang terkawal – ini mengurangkan risiko pembentukan titik panas dan pendedahan berlebihan pada tepi wafer. Hasilnya, kawalan ketepatan pola menjadi lebih baik, jumlah kerja semula berkurangan, dan kualiti produk tetap konsisten. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana haba dihasilkan hanya apabila diperlukan, bukan secara berterusan. Ini seterusnya mengurangkan kos pengeluaran bagi setiap wafer serta mengurangkan waktu henti yang tidak dijangka.
Catatan lapangan:
Pemasangan mentol ini sangat mudah, tetapi penyesuaian kedudukannya sangat penting. Pastikan mentol dipasang dalam jarak ±1 mm dari jarak fokus yang ditetapkan; jika tidak, keseragaman suhu akan terjejas dan titik panas akan muncul. Periksa keadaan reflektor setiap kali, dan bersihkan soket mentol sebagai sebahagian daripada penyelenggaraan rutin. Menggunakan voltan yang lebih rendah daripada yang ditetapkan boleh memanjangkan jangka hayat mentol, tetapi ia akan memanjangkan masa pemanasan dan mengubah profil pemanasan. Patuhi voltan yang telah disetkan untuk setiap proses pengeluaran.