Op de lithografieafdeling kun je je niet verschuilen voor temperatuursschommelingen. Zelfs een kleine afwijking in de temperatuur heeft invloed op de kwaliteit van de wafer. De apparaten voor het besmeren en ontwikkelen van de wafer stoppen niet zodat de oven zich kan aanpassen – ze blijven gewoon draaien. Als de heater de gewenste temperatuur niet met precisie kan behouden, verandert de structuur van de fotoresist, waardoor er meer defecten ontstaan.
Wat we hebben gebouwd, en waarom dat belangrijk is
We hebben deze infraroodheater ontworpen met behulp van kortegolflampen en een kwartsgebaseerd thermisch systeem. De reactietijd en het mogelijkheid om de temperatuur nauwkeurig te beheersen zijn hierbij cruciaal. De uniformiteit van de temperatuur op het oppervlak van de wafer blijft binnen ±0,1°C, zodat zowel het zachte als het harde bakproces consistent blijft. De heater kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1-100, omdat het apparaat is ontworpen om geen enkele vorm van vervuiling te veroorzaken – geen uitstoot van gassen, geen afbrokkeling, geen risico op contaminatie van de fotoresist. De betrouwbaarheid van het apparaat hangt af van de tijd dat het continu kan werken: de componenten zijn speciaal gekozen voor 24/7 gebruik. Het thermische systeem houdt de gewenste temperatuur constant, zonder de schommelingen die je tegenkomt bij oudere heethetssystemen.
In apparaten voor het besmeren en ontwikkelen van wafer is de heater essentieel voor de efficiëntie en kwaliteit. Onze infraroodheater brengt de wafer snel op de gewenste temperatuur en houdt deze constant – dit verkort de cyclustijd en vermindert de thermische belasting op het substraat. Hierdoor zijn er minder schommelingen in de uniformiteit van de wafer, en is de controle over de dikte van de laag die wordt aangebracht beter. Bovendien wordt er minder energie verbruikt tijdens het opwarmen en in het stabiele stadium vergeleken met traditionele verwarmingssystemen. Er is ook minder onderhoud nodig, omdat er geen contactpunten zijn waar slijtage kan optreden.
Een paar praktische tips voordat je besluit om dit apparaat te kopen
De heater past in standaard apparaten voor het besmeren en ontwikkelen van wafer, maar je moet toch controleren of de fysieke afmetingen en montagetoleranties overeenkomen met die van het specifieke apparaat en de geometrie van de bakkamer. Zodra alle afmetingen kloppen, is de integratie eenvoudig. Als de afmetingen niet kloppen, zal dit leiden tot problemen met de uniformiteit van de wafer. Plan de installatie rondom een geplande onderhoudsbeurt, en zorg ervoor dat de luchtcirculatie in de schone ruimte geen lokale hitte- of koudepunten veroorzaakt bij het lampoppervlak.