Na linha de produção, uma variação de temperatura inferior a 1°C na câmara de secagem já é suficiente para tornar todo um lote inválido. As bolachas...

Na área de litografia, um wafer de 300 mm não tem tempo suficiente para que o forno consiga aquecê-lo adequadamente. As variações no processo de...

Na linha de produção, uma variação de 0,5°C na temperatura do wafer já é suficiente para causar desvios na espessura da camada fotoreacional,...

Na linha de 300 mm, o tempo de parada não planejado e as partículas são os principais problemas. Os fornos de convecção têm sido usados para secar e...