На производственном участке достаточно даже незначительного изменения температуры в камере сушки – на уровне менее 1°C – чтобы вся партия продукции стала бракованной. Пластины выходят из камеры с небольшим количеством влаги, и на следующих этапах обработки – мягкой или жесткой сушке, удалении частиц с краев пластин – нет возможности для изменений температуры. Мы разработали систему нагрева для промышленной сушки пластин таким образом, чтобы она могла справляться с этими условиями, а не пыталась бороться с ними уже после начала процесса.
Что имеет значение внутри устройства
Нагреватель использует инфракрасные элементы коротких волн, которые быстро реагируют на изменения температуры и сохраняют её на необходимом уровне. В активной зоне однородность температуры на поверхности пластины остается в пределах ±0,1°C, что позволяет сохранять постоянство параметров фоторезиста при обработке разных партий продукции. Устройство соответствует требованиям чистых комнат классов от 1 до 100: используются материалы с низким уровнем выбросов газов, а поверхность устройства не выделяет частиц. В правильно установленных устройствах они работают круглосуточно без перерывов, а точность поддержания температуры сохраняется даже после тысяч циклов работы.
Почему это работает на практике
В процессах сушки пластин и обработки фоторезиста температурный режим очень строг. Наш нагреватель позволяет достигать необходимой скорости повышения температуры без её превышения, что позволяет сократить время обработки без ущерба для качества пленки или контроля её толщины. Инфракрасное излучение эффективно, поэтому потребление энергии снижается. Меньше необходимости в техническом обслуживании означает меньше запасных частей, которые нужно хранить. Для инженеров это означает повышение производительности, точность контроля качества и возможность использования устройства без необходимости модификации оборудования.
На что стоит обратить внимание при установке
Необходимо учитывать геометрию камеры и направление потока воздуха. Мы предоставляем чертежи, комплекты для монтажа и информацию о процедурах калибровки. Но перед первым использованием необходимо проверить интерфейс устройства. Необходимо также обеспечить свободный проход воздуха, чтобы избежать его циркуляции, а также поддерживать температуру и влажность в заданных пределах. После краткой проверки можно с уверенностью начинать использование устройства.