На этапе литографии у пластин диаметром 300 мм нет времени на то, чтобы печь смогла полностью прогреть их. При мягкой обработке происходит изменение ширины линий на поверхности пластины; при жесткой обработке возникают нежелательные нарушения в структуре поверхности. А медленное высыхание приводит к появлению следов от воды, что снижает качество продукции. Наш инфракрасный нагреватель, разработанный специально для таких ситуаций, обеспечивает быстрое и контролируемое нагревание именно там, где это необходимо.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем инфракрасное излучение короткой длины волн с быстрой реакцией и точным спектральным контролем. Это позволяет энергии попадать именно в фоторезист и саму пластину, а не в элементы оборудования. На всей активной поверхности пластины сохраняется однородность температуры в пределах ±0,1°C. Процессы нагрева и выдержки повторяются в каждом цикле обработки.
Устройство разработано для использования в чистых комнатах класса 1–100: используются материалы с низким уровнем выбросов газов, закрытые кварцевые окна, а также такая конструкция потока воздуха, которая не позволяет частицам попасть в зону нагрева. Отсутствие частиц подтверждается с помощью контроля на месте во время тестирования. Устройство работает круглосуточно, при этом существуют времена технического обслуживания, которые можно запланировать заранее — нет неожиданных простоев.
Почему это подходит для использования
Для высыхания пластин инфракрасный нагреватель позволяет удалить поверхностную воду без возникновения тепловых ударов. Это сокращает время обработки и снижает количество брака. В процессе обработки фоторезиста такой контроль помогает поддерживать стабильность параметров поверхности пластины.
В системах CSP на уровне пластин нагреватель обеспечивает стабильную процедуру затвердевания и упаковки, что позволяет контролировать температурный режим и минимизировать деформацию пластин. Это позволяет ускорить процесс обработки, обеспечить более точное распределение температуры и снизить количество брака — без необходимости постоянного контроля за параметрами печи, которые всегда отставают от реальных условий.
Что необходимо учитывать при использовании
Нагревателю требуется чистый и сухой источник питания, а также стабильная основа для крепления, чтобы обеспечить правильную компенсацию и однородность параметров. Устройство совместимо со стандартными устройствами для обработки пластин и интерфейсами SEMI. Однако при интеграции необходимо учитывать различия в эмиссивности различных слоев и подложек. Мы предоставляем матрицу калибровки для каждого рецепта обработки.
Необходимо планировать периодическую проверку устройства и контроль его работы. Точность достигается не случайно — она поддерживается постоянно.