На этапе литографии отклонение температуры на уровне 2°C во время процедуры мягкой обработки фотополимера не является допустимым — это приводит к снижению качества готовой продукции. Пластины накапливаются, сроки выпуска продукции смещаются, а количество частиц в воздухе растет, как только контроль температуры становится ненадежным. Мы создали инфракрасную лампу Ruby (230 В), которая позволяет поддерживать температуру в пределах заданных параметров на протяжении всего процесса.
Что имеет значение с технической точки зрения
Лампа Ruby излучает кратковолновое инфракрасное излучение с быстрой скоростью реакции и точным спектральным контролем. Она работает при напряжении 230 В, поэтому может быть использована в стандартном оборудовании без необходимости изменения проводки или использования трансформаторов понижения напряжения. На уровне активной зоны температурная однородность составляет ±0,1°C, а повторяемость процесса — ±0,5°C. Кварцевая оболочка и дополнители из рубина снижают выделение газов и минимизируют образование частиц; это позволяет поддерживать чистоту в помещении класса 1–100. Лампы работали более 5 000 часов без существенного снижения эффективности, а геометрия нити нагрева обеспечивает стабильное сопротивление в условиях циклических нагревов.
Почему лампа подходит для промышленного использования
В процессе обработки фотополимера мягкая обработка способствует испарению растворителей и формированию напряжений в слое фотополимера; жесткая обработка фиксирует структуру слоя перед процедурой этичинга. Лампа Ruby стабилизирует оба этих процесса, быстро достигая заданных температур и обеспечивая предсказуемое охлаждение. Это снижает количество „горячих точек“ и перенагрева на краях слоя. В результате улучшается контроль размеров элементов изображения, снижается количество необходимых корректировок, а ширина линий остается стабильной. Потребление энергии снижается, так как тепло подается по мере необходимости, а не постоянно на большую площадь. Это приводит к снижению затрат на производство одной пластины и уменьшению количества неплановых простоев.
Замечания по эксплуатации
Установка лампы происходит просто, но важно соблюдать точное расположение относительно фокусного расстояния. Если это не соблюдено, возникает отклонение в температуре и появляются „горячие точки“. Необходимо регулярно проверять состояние отражателя и чистить гнездо лампы в рамках регулярного технического обслуживания. Работа лампы при напряжении ниже заданного может увеличить срок ее службы, но при этом увеличится время прогрева и изменится профиль нагрева. Следует соблюдать заданное напряжение для каждого рецепта производства.