
Сохранение чистоты: системы отопления для помещений класса 100
На производствах полупроводников даже крошечная капля пыли представляет серьезную угрозу – она может разрушить поверхностьWaferа. Если вам необходимо отопление в помещении класса 100, нельзя просто использовать обычные нагревательные элементы и надеяться на лучшее. Необходимы устройства, которые не выбрасывали бы газы или частицы в атмосферу.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого кварца и провода с тефлоновой изоляцией. Это единственный способ предотвратить выделение газов и частиц, которые могут испортить качество продукции.
Почему мы выбираем высокочистый кварц
Мы используем синтетический кварц в этих лампах по простой причине: он не реагирует на колебания температуры. Обычное стекло со временем трескается или начинает выпускать частицы кремния. Это очень плохо.
Эти инфракрасные лампы используют коротковолновое излучение для прямого воздействия на целевой материал. Поскольку тепло достигает нужного места напрямую, нет необходимости нагревать окружающий воздух. Это снижает количество загрязнителей в воздухе. Все это делает процесс производства более чистым и простым.
Почему мы настаиваем на использовании тефлона
Стандартные изоляционные материалы типа ПВХ или силикона являются проблемой в условиях чистых помещений. При нагревании они начинают выделять вредные вещества. Это недопустимо.
Мы используем провода с тефлоновой изоляцией, потому что PTFE является инертным материалом. Он не разрушается и не выделяет газы даже при высоких температурах. Это предотвращает образование углеродных осадков и химических паров в вакуумной или стерильной среде.
Как сделать все это работающим
Мы стараемся сделать эти системы как можно более компактными, чтобы источник тепла находился как можно ближе к поверхности материала. Но здесь есть одна проблема: высокая интенсивность нагрева создает локальные точки высокой температуры.
Необходимо правильно спроектировать систему охлаждения. Если радиатор слишком мал для мощности лампы, тепло будет накапливаться в самом корпусе устройства. Это приведет к искажению параметров работы устройства, и вам придется тратить время на его перенастройку.
Еще один совет: используйте контакты, покрытые золотом или высококачественным никелем. Это предотвратит окисление на контактных поверхностях. Никаких проблем с электрическим соединением – только надежное соединение, которое прослужит тысячи часов.