Litografi sürecinde, foto dirençlerin yumuşak ısıtılması sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişim kabul edilebilir bir değil; bu durum üretim verimliliğini düşürür. Wafler birikmeye başlar, programlar aksar ve termal kontrol zayıfladığında parçacık sayısı artmaya başlar. Süreç boyunca termal kontrolü korumak için 230V’da çalışan Ruby kızılötesi ısıtıcılarını geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar
Ruby ısıtıcıları hızlı yanıt veren ve spektral kontrolü yüksek olan kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar yayır. 230V’da çalıştığı için, herhangi bir kablo değişikliği veya indüktör kullanmadan standart ekipmanlara kolayca entegre edilebilir. Aktif bölgede waflerin termal homojenliği ±0,1°C civarında olurken, döngüler arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0,5°C civarındadır. Kuvars kaplaması ve ruby katkı maddeleri, gaz salınımını azaltır ve parçacık oluşumunu engeller; böylece Cleanroom Class 1–100 koşulları sağlanır. Bu cihazlar 5.000 saatten fazla süre boyunca kesintisiz olarak çalıştırıldı ve verimlilik kaybı %5’in altında kaldı. Ayrıca filamanın geometrisi, termal döngüler sırasında sabit bir direnç sağlayacak şekilde tasarlanmıştır.
Üretimde neden etkili olduğu
Foto direnç işlemlerinde, yumuşak ısıtma çözücülerin buharlaşmasını sağlar ve film üzerindeki gerilimi belirler; sert ısıtma ise aşındırma işleminden önce deseni sabitler. Ruby ısıtıcıları her iki adımı da stabilize eder; hızlı bir şekilde belirlenen noktalara ulaşır ve düzenli bir soğutma sağlar. Böylece daha az sıcaklık farkı ve daha az kenar aşırı ışınlanması olur. Sonuç olarak, daha iyi CD kontrolü, daha az yeniden işleme gerekliliği ve tüm parti boyunca tutarlı bir çizgi genişliği elde edilir. Isı, büyük bir ısı plakası yerine talep üzerine sağlandığı için güç tüketimi azalır. Bu da her waft için daha düşük maliyet ve daha az planlanmamış durma anlamına gelir.
Kullanım notları
Montajı oldukça basittir, ancak doğru ayarlama çok önemlidir. Işıtıcıyı belirlenen odak mesafesinin ±1 mm içinde monte edin; aksi takdirde homojenlik bozulur ve yerel sıcak noktalar ortaya çıkar. Her seferinde reflektörün durumunu kontrol edin ve rutin bakımın bir parçası olarak soketi temizleyin. Belirlenen voltajın altında çalıştırmak kullanım ömrünü uzatabilir, ancak ısınma süresini artırır ve ısıtma profilini değiştirebilir. Bu yüzden her reçete için kalibre edilmiş voltaj değerlerine uyulmalıdır.