На поверхні пластини розміром 300 мм немає часу на те, щоб піч встигла нагріти її. Недостатнє нагрівання призводить до зміни ширини ліній на поверхні пластини. Надмірне нагрівання спричиняє появу небажаних ефектів на поверхні пластини. А повільне висихання залишає сліди води, що негативно впливає на якість продукції. Ми створили інфрачервоний нагрівач для обробки пластин саме для таких ситуацій – швидке та контрольоване нагрівання саме там, де це необхідно.
Що є важливим з технічної точки зору Ми використовуємо інфрачервоне випромінювання короткої довжини хвилі з швидкою реакцією та точним контролем спектру. Це дозволяє енергії потрапляти саме в фоторезист та пластину, а не в конструкції пристрою. У всій активній зоні досягається однорідність температури на рівні ±0,1°C. Процес нагрівання є послідовним та повторюється при кожній обробці.
Пристрій розроблений для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100: використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, закриті кварцові вікна, а також система подачі повітря, яка не дозволяє частинкам потрапити в теплову оболонку. Відсутність частинок підтверджується за допомогою контролю безпосередньо під час тестування. Пристрій працює 24/7, а періоди технічного обслуговування можна планувати заздалегідь – без несподіваних перерв у роботі.
Чому цей пристрій підходить для роботи Для висушування пластин інфрачервоний нагрівач ефективно усуває поверхневу воду без виникнення термічних шоків. Це скорочує час обробки та зменшує кількість бракованої продукції. Під час обробки фоторезисту цей пристрій забезпечує точний контроль процесу нагрівання, що сприяє стабільності параметрів поверхні пластини.
У системах CSP на рівні пластини цей нагрівач забезпечує стабільне висушування та упаковку пластин, контролюючи температурний режим та зменшуючи викривлення поверхні пластини. Це дозволяє досягти більшої швидкості обробки, більш точного розподілу тепла та меншої кількості бракованої продукції – без необхідності постійного контролю параметрів печі, які завжди відставають від реальних значень.
Що потрібно врахувати під час планування Нагрівач потребує чистого та сухого джерела живлення, а також стабільної осі для кріплення, щоб забезпечити правильну орієнтацію та однорідність параметрів. Він сумісний зі стандартними пристроями для обробки пластин та інтерфейсами SEMI. Однак під час інтеграції необхідно враховувати відмінності в емісії між різними матеріалами – ми надаємо матрицю калібрування для кожної схеми обробки.
Необхідно також планувати періодичну перевірку пристрою та контроль його роботи. Точність досягається не випадково – її можна підтримувати через регулярний контроль.