На етапі літографії процеси „м’якого“ та „жорсткого“ нагрівання є не просто тепловими операціями. Це своєрідні „бар’єри“, які контролюють розміри деталей. Зміна температури на 2°C може призвести до зміни критичних розмірів деталей; крім того, одна-едина частинка, утворена в гарячій зоні, може пошкодити всю продукцію. Тож ми створили модуль інфрачервоного нагрівання з розділеною зоною нагріву, який забезпечує контроль температури саме там, де це необхідно, без створення додаткових забруднень.
Модуль використовує випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла, розташовані в окремих зонах, які контролюються автоматично відповідно до геометрії плати. На поверхні плати температура залишається стабільною – приблизно ±0,1°C, а точність вимірювання температури – ±0,2°C між серіями продукції. Гаряча зона залишається чистою: для зменшення виділення газів використовуються кварц та відбивачі; крім того, конструкція модуля запобігає утворенню частинок під час постійної роботи. У чистих кімнатах класу 1–100 цей модуль забезпечує стабільні параметри нагріву без збільшення кількості частинок. Це також полегшує процес обробки фотополімерів та зменшує варіації розмірів деталей між серіями продукції.
Цей модуль дозволяє отримати кращі результати в процесі виробництва. „М’яке“ нагрівання покращує якість обробки поверхні деталей, а „жорстке“ нагрівання підвищує їх адгезію та селективність етchingу. Це значно зменшує кількість відходів та необхідності подальшої обробки. Крім того, розділений підхід до нагрівання дозволяє зменшити споживання енергії, оскільки не потрібно нагрівати всю камеру. Модульна конструкція також дозволяє швидко замінювати модулі під час профілактичного обслуговування, що допомагає уникнути непланових перерв у роботі.
Встановлення модуля полягає у правильному розташуванні його щодо шини передачі даних та правильному підключенні до системи відведення повітря. Модуль слід розмістити відповідно до вимог обладнання, а також переконатися у правильності підключень під час налаштування, щоб він працював у сумісності з вашою системою керування та процедурами обслуговування.