
Ngăn chặn hiện tượng vỡ ống hồng ngoại trong quá trình xử lý wafer
Trong các nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, chỉ cần một chiếc đèn bị hỏng thôi cũng có thể làm hỏng cả một lô wafer. Đó thực sự là một thảm họa. Khi ống hồng ngoại bị vỡ do áp lực quá lớn, không chỉ dây chuyền sản xuất bị gián đoạn, mà còn có nguy cơ các mảnh thủy tinh và khí halogen rơi xuống sản phẩm.
Chúng tôi chế tạo những chiếc đèn hồng ngoại đạt tiêu chuẩn cao để đảm bảo điều này không xảy ra.
Giữ cho wafer luôn sạch sẽ
Hầu hết các ống hồng ngoại đều bị hỏng do việc hoạt động liên tục với công suất cao. Điều này gây ra áp lực lớn lên lớp thủy tinh. Để khắc phục vấn đề này, chúng tôi sử dụng thủy tinh nung chảy có độ trong suốt cao, với độ dày thành được thiết kế riêng để chịu được áp lực nhiệt. Chúng tôi cũng gia cố lớp vỏ bọc của đèn để nó có thể chịu được áp suất bên trong mà không bị biến dạng.
Nếu bạn muốn có thêm một lớp bảo vệ nữa, chúng tôi cung cấp lớp vỏ bảo vệ. Hãy coi đó như một “lớp giáp” bảo vệ wafer khỏi những tác động tiêu cực. Nếu sợi dây tóc của đèn bị hỏng và lớp thủy tinh bị vỡ, lớp vỏ bảo vệ sẽ giúp bảo vệ wafer. Như vậy, wafer vẫn giữ được trạng thái nguyên vẹn.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Việc chứa quá nhiều công suất vào một không gian nhỏ sẽ tạo ra lượng nhiệt rất lớn. Nếu nguồn cung cấp điện bị ngắt, sẽ xuất hiện những điểm nóng. Những điểm nóng này chính là nguyên nhân khiến ống hồng ngoại bị vỡ.
Đó là lý do tại sao chúng tôi yêu cầu các đèn phải hoạt động trong phạm vi điện áp rất chặt chẽ. Điều này giúp phân bổ nhiệt đều khắp toàn bộ ống hồng ngoại.
Nhưng điều quan trọng là hệ thống làm mát cũng phải hoạt động tốt. Nếu vỏ đèn quá nóng, các lớp kín sẽ bị hư hỏng, và tuổi thọ của đèn sẽ giảm sút.
Những chi tiết nhỏ nhưng quan trọng
Chúng tôi sử dụng các đầu nối và khung treo tiêu chuẩn, vì áp lực cơ học cũng có thể gây hại cho đèn. Tôi đã chứng kiến điều này xảy ra nhiều lần – người ta siết đèn quá chặt vào khung treo, tạo ra điểm áp lực. Sau một vài chu kỳ nhiệt, đèn sẽ bị vỡ.
Các khung treo của chúng tôi tạo ra không gian để lớp thủy tinh có thể giãn nở tự nhiên.
Một mẹo cuối cùng: hãy thay thế các đèn này trong thời gian nghỉ ngơi đã được lên kế hoạch. Xin đừng để chúng hoạt động cho đến khi chúng bị hỏng. Hãy theo dõi mức công suất của đèn; đó là cách dễ nhất để phát hiện sự cố trước khi nó ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.