Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, các bước nung ở nhiệt độ thấp và cao không chỉ là những bước xử lý nhiệt thông thường mà còn là những yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến kích thước của các chi tiết trên wafer. Sự thay đổi nhiệt độ 2°C trên bề mặt wafer có thể khiến các kích thước quan trọng thay đổi; một hạt vật chất được tạo ra trong vùng nóng cũng có thể gây hư hại nghiêm trọng cho wafer. Vì vậy, chúng tôi đã thiết kế một mô-đun sưởi ấm bằng tia hồng ngoại, giúp kiểm soát nhiệt độ ở những vị trí quan trọng, mà không gây ra sự ô nhiễm nào.
Mô-đun này sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại bước sóng ngắn, được sắp xếp trong các vùng được kiểm soát riêng biệt, tương ứng với cấu trúc của wafer. Trên toàn bề mặt wafer, độ đồng đều về nhiệt độ đạt mức ±0,1°C, còn độ lặp lại của nhiệt độ giữa các lô sản xuất là ±0,2°C. Vùng nóng luôn được duy trì trong trạng thái sạch sẽ: các linh kiện làm từ thạch anh và vật liệu phản xạ được sử dụng để giảm tỷ lệ khí thoát ra, và thiết kế này giúp loại bỏ hoàn toàn sự hình thành các hạt vật chất trong quá trình vận hành ổn định. Trong các phòng sạch cấp độ 1–100, mô-đun này giúp duy trì nhiệt độ ổn định, mà không làm tăng số lượng hạt vật chất. Điều này giúp cải thiện chất lượng bề mặt wafer.
Phương pháp này giúp tăng hiệu suất quy trình sản xuất. Việc nung ở nhiệt độ thấp giúp cải thiện chất lượng bề mặt wafer, trong khi việc nung ở nhiệt độ cao giúp tăng độ bám dính và khả năng tách lớp vật chất trên bề mặt wafer, từ đó giảm thiểu việc phải tái xử lý wafer. Phương pháp này còn giúp tiết kiệm năng lượng, vì không cần phải sưởi ấm toàn bộ buồng sản xuất. Thiết kế mô-đun linh hoạt cũng giúp việc thay thế mô-đun diễn ra nhanh chóng trong quá trình bảo trì, từ đó tránh được thời gian ngừng máy không cần thiết.
Việc lắp đặt mô-đun này rất đơn giản: chỉ cần đưa mô-đun vào vị trí phù hợp trên máy, sau đó điều chỉnh dòng khí sao cho vùng nóng được cách ly tốt. Mô-đun này có thể được lắp đặt trên các thiết bị半导体 tiêu chuẩn. Tuy nhiên, cần kiểm tra lại hệ thống dây điện và cách điều khiển mô-đun trong quá trình lắp đặt, để đảm bảo nó phù hợp với hệ thống quản lý MES và PM của bạn.