Làm thế nào để kiểm soát nhiệt độ trong buồng sạch loại Class 100?
Khi làm nóng các vật thể bên trong buồng sạch loại Class 100, mục tiêu không phải là tạo ra nguồn nhiệt lớn. Điều quan trọng nhất là phải kiểm soát những hạt vi mô và khí hóa học mà con người không thể nhìn thấy được.
Các bộ phận gia nhiệt thông thường có xu hướng bị nứt hoặc giải phóng chất VOC ngay khi bị làm nóng. Điều này rất nguy hiểm trong môi trường sạch. Để tránh điều này, chúng ta sử dụng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao.
Giữ cho môi trường sạch sẽ
Chúng ta sử dụng thạch anh có hàm lượng silic cao. Tại sao ư? Bởi vì loại thạch anh này không bị bám bụi hay hư hỏng khi bị làm nóng và nguội đi lặp đi lặp lại.
Nhiều bộ phận gia nhiệt khác lại sử dụng vỏ bằng thủy tinh hoặc kim loại rẻ tiền. Những vật liệu này dễ bị oxi hóa và bong tróc. Nếu những mảnh vụn này rơi xuống wafer bán dẫn hoặc làm hỏng màng chân không, toàn bộ sản phẩm sẽ bị hỏng.
Chúng ta cũng vệ sinh các ống thạch anh bằng hóa chất để loại bỏ các ion trên bề mặt. Điều này giúp đảm bảo rằng bóng đèn không trở thành nguồn gây ô nhiễm.
Nhiệt độ và môi trường chân không
Ưu điểm của ánh sáng hồng ngoại là nhiệt độ được truyền trực tiếp đến vật thể cần làm nóng. Nhờ đó, không khí bên trong buồng sạch không bị làm nóng, từ đó giúp duy trì môi trường sạch sẽ. Hơn nữa, các bóng đèn này có thể tăng nhiệt độ nhanh. Càng ít thời gian chờ đợi, càng ít khả năng xảy ra sự cố.
Nhưng có một điều cần lưu ý: cần kiểm soát mật độ năng lượng của bóng đèn. Các bóng đèn công suất cao tuy giúp tăng tốc độ làm nóng, nhưng chúng tạo áp lực lớn lên hệ thống làm mát. Nếu hệ thống làm mát không thể đối phó với lượng nhiệt này, áp suất bên trong buồng sạch sẽ tăng lên. Đây là một vấn đề cần cân nhắc kỹ lưỡng.
Thiết lập và những điều cần lưu ý
Chúng ta sử dụng các konektor tiêu chuẩn, vì vậy chúng có thể được thay thế một cách dễ dàng. Bạn không cần phải tháo rời toàn bộ hệ thống điều khiển mỗi khi bóng đèn hỏng. Chúng ta cũng chọn những bóng đèn có kích thước nhỏ để chúng có thể vừa vặn trong các buồng sạch.
Tuy nhiên, có một điều cần lưu ý: thạch anh có độ tinh khiết cao thì rất dễ vỡ. Chỉ cần một sai sót nhỏ trong quá trình lắp đặt cũng có thể làm vỡ ống thạch anh. Khi đó, bạn sẽ phải vệ sinh toàn bộ buồng sạch trước khi có thể tiếp tục sản xuất.
Lưu ý quan trọng: Luôn sử dụng găng tay không lông mỗi lần lắp đặt.