Giới thiệu
Hãy cùng tìm hiểu điều gì sẽ xảy ra khi dây chuyền sấy các wafer MEMS hoạt động ở mức tối đa. Nhiệt độ được nâng lên cao, và hệ thống phải hoạt động ở giới hạn tối đa của nó.
Đây là tình huống tồi tệ nhất có thể xảy ra: bóng đèn hồng ngoại bị nổ. Không chỉ hỏng, mà còn vỡ thành từng mảnh, gây ra nhiều mảnh vụn rơi xuống các wafer. Đó quả là một tình huống gây thiệt hại lớn.
Chúng tôi đã thiết kế bộ sưởi hồng ngoại này để tránh tình huống tồi tệ này xảy ra. Nó được thiết kế để cung cấp lượng nhiệt cần thiết cho quá trình sấy nhanh, mà không gây ra những sự cố nghiêm trọng.
Sức mạnh đằng sau quy trình
Đây không phải là loại bóng đèn thông thường. Đây là thiết bị chuyên dụng, được thiết kế để hoạt động trong môi trường sản xuất khắc nghiệt.
Ở trung tâm của thiết bị này là một ống dài 300mm, hoạt động ở điện áp 400V và tạo ra công suất 2500W. Đó chính là lượng nhiệt cần thiết để đạt được nhiệt độ cao cần thiết cho quá trình sấy nhanh. Nhiệt độ tăng lên rất nhanh, giúp quá trình sấy diễn ra nhanh chóng.
Nhưng điều quan trọng là bạn không thể cắm thiết bị này vào bất cứ đâu. Nó cần một mạch điện riêng biệt. Công suất 2500W tạo ra rất nhiều nhiệt, vì vậy hệ thống làm mát phải đủ mạnh để xử lý điều này. Nếu không, các thiết bị xung quanh sẽ bị quá nhiệt. Chúng tôi thiết kế thiết bị này để hoạt động trong môi trường có áp lực cao, chứ không phải chỉ để thuận tiện.
Thành phần cấu tạo – Và tại sao nó quan trọng
Bên trong thiết bị có một nguyên lâm hồng ngoại sóng ngắn, được đặt trong ống thạch anh có độ tinh khiết cao.
Tại sao lại chọn thạch anh? Bởi vì nó có thể chịu được những dao động về nhiệt độ khi bật/tắt liên tục mà không bị nứt. Nó rất bền.
Nhưng yếu tố an toàn quan trọng nhất chính là lớp phủ đặc biệt trên ống thạch anh. Lớp phủ này giống như một “lưới an toàn”, giúp giữ các mảnh vụn lại, tránh để chúng rơi ra ngoài. Nhờ đó, không có mảnh vụn nào bay ra ngoài, và các wafer vẫn được bảo vệ.
Thiết bị này được kết nối bằng đầu nối R7s, đây là tiêu chuẩn trong các thiết bị sưởi công nghiệp. Đó là mối kết nối chắc chắn, có khả năng chịu được các rung động trong quá trình hoạt động. Bạn không cần lo lắng về việc mối kết nối bị lỏng lẻo hay gây ra sự cố.
Trên thực tế
Trên dây chuyền sản xuất, thiết bị này giúp quá trình sấy diễn ra nhanh chóng hơn. Năng lượng hồng ngoại sóng ngắn tác động trực tiếp lên bề mặt wafer, giúp quá trình sấy diễn ra nhanh hơn. Nhờ tính chất bền bỉ của thạch anh và lớp phủ an toàn, bạn không cần lo lắng về những sự cố có thể xảy ra khi máy hoạt động 24/7.
Đối với các kỹ sư, việc sử dụng thiết bị này rất đơn giản. Nó có thể hoạt động tốt với những thiết bị hiện có. Mục tiêu chính là đảm bảo độ tin cậy của thiết bị trong môi trường áp lực cao.
Bạn sẽ có đủ nhiệt độ cần thiết để sấy các wafer với hiệu suất cao, đồng thời thiết bị cũng được bảo vệ khỏi những tác động tiêu cực.
Đúng vậy, bạn cần có hệ thống cung cấp điện và hệ thống làm mát phù hợp để hỗ trợ thiết bị này. Nhưng đổi lại, bạn sẽ có một hệ thống hoạt động ổn định, ngay cả khi sản xuất đang ở mức tối đa. Và sự yên tâm mà nó mang lại thì thật sự rất đáng giá.