
停止在晶圆加工过程中浪费能源吧!
说实话,在芯片制造厂里,浪费电能其实就等于白白浪费金钱。
大多数普通的红外灯效率都很低。它们会将能量向各个方向辐射——这意味着有一半的能量被浪费掉了,只能用来加热空气或机器框架,而无法用于加热晶圆本身。
我们可以通过添加黄金来解决这个问题。这么做并非为了美观,而是出于物理原理的考虑。通过在石英罩的背面覆盖一层高纯度的黄金,我们可以让所有的红外能量都朝正确的方向传播。
其工作原理如下:
黄金在处理红外能量方面表现极为出色——它能够反射超过98%的红外光。可以把它想象成一面镜子。当钨丝开始发热时,黄金层会捕获那些原本会向后散发的热量,并将其直接导向晶圆。
最棒的是,这样就可以让晶圆获得更多热量,同时又不必增加电力成本。你只是更有效地利用了现有的能源而已。
当然,也有代价……
虽然这种方法能加快升温速度,缩短处理时间,但把所有能量集中在一点上也会对晶圆的边缘造成影响。如果定位不准确,就会形成局部过热的情况。此外,黄金层的厚度必须保持一致,否则晶圆上就会出现条纹状缺陷,这显然是大家都不想看到的。
如何将这种装置应用到生产线上?
我们设计的这种装置可以直接替代现有的红外灯,无需重新设计整个系统。一旦安装到位,你可以选择降低工作电压,从而延长灯具的使用寿命;或者保持电压不变,从而缩短处理时间。这是一种简单的方法,可以让每一瓦特的能量都发挥出更大的作用。