近红外 NIR 发射灯泡

在光刻车间，温漂是无法容忍的。光刻胶烘烤过程中温度仅偏移0.3℃，就足以报废一整批300 mm晶圆。热量必须精准地落在工艺卡要求的位置——每班次，每批次，始终如一。 核心关键点 我们采用近红外（NIR）发射灯泡，通过结合严格控制的光谱输出与精确设计的反射器几何形状，实现亚毫米级的均匀性。热场映射能...