Sensor de temperatura para ferramentas de wafer
Por que estamos passando para o uso de cura por infravermelho em semicondutores sem chumbo
Projetar ferramentas para processamento de wafers é uma...
Aquecedor da ferramenta de inspeção de semicondutores
No chão de fábrica, você sabe como é: uma variação de 0,5°C na etapa de inspeção desloca o perfil do fotoresiste, altera o viés do CD e, de repente,...