Das Ende des Albtraums durch geplatzte Infrarotröhren bei der Trocknung von Wafern
In einer Halbleiterfabrik kann bereits ein einziger Defekt einer Lampe dazu führen, dass ganze Batches von Wafern zerstört werden. Das ist eine Katastrophe. Wenn eine Infrarotröhre unter hohem Druck versagt, entstehen nicht nur Ausfälle in der Produktion – sondern auch Quarzkörner sowie Halogengas, die auf die Wafer herabfallen.
Wir entwickeln unsere zertifizierten Infrarottrocknungsgeräte so, dass so etwas nie passiert.
Schutz der Wafer
Die meisten Röhren versagen bei schnellen Stromwechseln. Der Druck auf das Glas ist einfach zu groß. Um dies zu vermeiden, verwenden wir hochreines, verschmolzenes Quarzglas mit einer Wandstärke, die speziell darauf abgestimmt ist, thermischen Belastungen standzuhalten. Zudem haben wir die Hülle verstärkt, sodass sie dem inneren Druck standhalten kann, ohne zu verbiegen.
Und wenn Sie noch mehr Sicherheit möchten? Wir bieten einen Schutzrahmen an. Er fungiert wie ein Schutzschild – falls der Glühfaden versagt und das Glas zerbricht, fängt der Schutzrahmen alles auf. So bleiben Ihre Wafer unbeschädigt.
Umgang mit der Hitze
Wenn hohe Leistungen in einem kleinen Raum erzeugt werden, entsteht eine enorme Menge an Wärme. Wenn die Stromversorgung ausfällt, entstehen Hotspots – genau dort können die Röhren platzen.
Deshalb stellen wir sicher, dass unsere Lampen innerhalb sehr enger Spannungs toleranzen arbeiten. Dadurch wird die Wärme gleichmäßig über die gesamte Röhre verteilt.
Aber Achtung: Ihr Kühlungssystem muss ebenfalls funktionieren. Wenn die Hülle zu heiß wird, beginnen die Dichtungen zu versagen – dadurch verkürzt sich die Lebensdauer der Lampe stark.
Die kleinen Dinge, die wichtig sind
Wir verwenden Standardanschlüsse und Halterungen – schließlich ist mechanischer Stress ein „stiller Killer“. Ich habe das schon dutzendfach erlebt: Jemand zieht die Lampe zu fest im Halter fest – dadurch entsteht ein Spannungspunkt. Nach einem weiteren Temperaturwechsel platzt die Röhre.
Unsere Halterungen lassen genug Platz, damit das Glas sich natürlich dehnen und zusammenziehen kann.
Ein letzter Tipp: Ersetzen Sie die Lampen während der geplanten Wartungszeiten. Bitte betreiben Sie sie nicht weiter, bis sie versagen. Achten Sie auf den Rückgang der Leistung – das ist die einfachste Möglichkeit, einen Defekt frühzeitig zu erkennen.