Hören Sie auf, Wärme in Ihrem Reinraum zu verschwenden!
Beim Bearbeiten von Wafern ist jedes Watt von großer Bedeutung. Wenn Sie ein Siliziumsubstrat erhitzen und dabei Energie in alle Richtungen entweicht, verschwenden Sie einfach nur Energie. Man braucht nicht nur Wärme – man braucht eine Energiequelle, die genau dorthin strahlt, wo sie benötigt wird.
Das Problem: Die meisten Standardreflektoren lassen zu viel Infrarotenergie in das Gehäuse dringen. Um das zu verhindern, verwenden wir Gold.
Warum Gold?
Es ist einfach: Gold reflektiert Infrarotstrahlung viel besser als Aluminium oder poliertes Stahl. Indem wir eine Schicht aus hochreinem Gold auf den Reflektor auftragen, verhindern wir, dass die Photonen in alle Richtungen streuen. Stattdessen werden sie direkt zurück zur Wafer geschickt.
Dadurch entsteht ein viel präziseres Heizprofil. Man erreicht die gewünschten Temperaturen schneller – und muss nicht gegen die Ausrüstung kämpfen, um diese Temperaturen zu erreichen.
Das Gleichgewicht finden
Um die gewünschten Oberflächentemperaturen zu erreichen, ohne den gesamten Arbeitstisch in einen Ofen zu verwandeln, muss man eine hohe Leistungsdichte erreichen. Doch da gibt es ein Problem: Wenn man so viel Leistung in einen kleinen Raum steckt, wird die Quarzkapsel stark belastet. Es handelt sich dabei um ein „Seilgängen“. Wir investieren viel Zeit darin, die Länge der Lampe sowie die Spannung anzupassen, damit die Fäden nicht vorzeitig durchbrennen.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Diese Lampen sind dazu konzipiert, einfach ausgetauscht zu werden – daher sind sie leicht austauschbar. Doch die Goldbeschichtung ist äußerst empfindlich. Wenn ein Techniker den Reflektor mit bloßen Händen berührt, haften die Öle von seiner Haut an der Oberfläche. Das führt zu „heißen Punkten“ und reduziert die Effizienz des gesamten Systems. Verwenden Sie immer Handschuhe ohne Fasern.
Noch etwas: Da diese goldbeschichteten Lampen die Wärme so gut konzentrieren können, muss das Kühlsystem mitmachen. Wenn die Lüfter oder Kühler schwach sind, wird das Gehäuse alle Wärme aufnehmen. In diesem Fall beginnen die Temperatursensoren, Fehler zu liefern – und plötzlich ist Ihr Prozess chaotisch. Überprüfen Sie daher vor dem Anschließen der Lampen den Luftstrom. Das spart Ihnen später viele Probleme.