Sauber halten: Heizung für Reinräume der Klasse 100
In Halbleiterfabriken ist selbst ein winziger Staubkorn kein bloßes Ärgernis – es bedeutet den Untergang der Wafer. Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 Wärme benötigt, kann man nicht einfach ein Standardheizelement verwenden und darauf hoffen, dass alles gut geht. Man braucht Geräte, die keinen Staub abgeben, keinen Rauch erzeugen und keine Lecks aufweisen.
Deshalb verwenden wir hochreinen Quarzkristall für diese Lampen sowie Kabel mit Teflon-isolation. Das ist die einzige Möglichkeit, zu verhindern, dass Gase und Partikel die Qualität der Produkte beeinträchtigen.
Hochreiner Quarzkristall
Wir verwenden synthetischen Quarzkristall aus einem einfachen Grund: Er reagiert nicht empfindlich auf Temperaturschwankungen. Normales Glas hingegen bricht irgendwann oder gibt Siliziumpartikel ab – das ist wirklich nicht ideal.
Diese IR-Lampen nutzen kurzwellige Strahlung, um das Zielmaterial direkt zu erwärmen. Da die Wärme direkt dorthin gelangt, muss die umgebende Luft nicht erhitzt werden. Dadurch gibt es weniger Schadstoffe in der Produktionszone – alles bleibt sauberer und einfacher.
Warum wir unbedingt Teflon verwenden
Standardmäßige PVC- oder Silikonummantelungen sind in Reinräumen ein Albtraum. Sobald sie heiß werden, beginnen sie, VOCs abzugeben – das darf auf keinen Fall passieren.
Wir verwenden Kabel mit Teflon-Isolierung, denn PTFE ist im Grunde genommen inert. Es zerfällt nicht und erzeugt auch keinen Rauch, selbst wenn die Temperaturen sehr hoch sind. Dadurch bleiben Kohlenstoffablagerungen sowie chemische Dämpfe außerhalb des Vakuums oder der sterilen Umgebung.
Alles funktionieren lassen
Wir versuchen, diese Systeme so kompakt wie möglich zu gestalten, damit die Wärmequelle nah am Substrat bleibt. Doch hier liegt das Problem: Hochdichte IR-Heizungen erzeugen starke Hotspots.
Man muss daher die Kühlstrukturen richtig gestalten. Wenn der Kühler zu klein für die Leistung der Lampe ist, wird die Wärme direkt ins Chassis geleitet. Dadurch können die Präzisionsanpassungen beeinträchtigt werden – man muss dann am Wochenende alles neu kalibrieren.
Ein letzter Tipp: Verwenden Sie goldbeschichtete oder hochwertige Nickelverbindungen. Dadurch wird die Oxidation an den Kontaktpunkten verhindert. Keine Überraschungen – nur eine saubere elektrische Verbindung, die tausende von Stunden lang hält.