במחלקת הליתוגרפיה, תהליכי החימום הרך והקשה אינם רק שלבים תרמיים – הם למעשה שלבים חשובים מבחינת הממדים של הוופר. שינוי של 2°C בטמפרטורה על פני הוופר יכול לגרום לשינויים בממדים החשובים שלו, וחלקיק אחד שנוצר באזור החם יכול לפגוע בחלקים רבים של הוופר. לכן, פיתחנו מודול חימום באינפרא-אדום ששומר על הטמפרטורה הנכונה באזורים החשובים, מבלי לגרום לזיהום.
המודול משתמש בגופי פליטה באינפרא-אדום בגלים קצרים, הממוקמים באזורים שנשלטים באופן עצמאי, בהתאם לגאומטריה של הוופר. על פני כל שטח העיבוד, האחידות התרמית של הוופר היא ±0.1°C, והשגרתיות של הטמפרטורה היא ±0.2°C בין סדרות שונות של ייצור. אזור החם נשאר נקי – משתמשים בקוורץ ובמחזירי אור כדי למנוע פליטת חומרים, והעיצוב מונע יצירת חלקיקים במהלך הפעולה הרגילה. בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, המודול שומר על פרופילי חימום יציבים, ללא עלייה במספר החלקיקים. זה משפר את איכות התהליך ומפחית את הצורך בעבודות תיקון.
הגישה הזו מאפשרת חיסכון באנרגיה, על ידי חימום ממוקד ולא חימום של כל החדר. הארכיטקטורה המודולרית מאפשרת החלפה מהירה של המודולים במהלך תחזוקה, כך שאין צורך בזמן עצירה בלתי מתוכנן.
ההתקנה כוללת התאמת המודול למסלול ההובלה של הוופר, ואז ניקוי האזור כדי לשמור על אזור החם מבודד. המודול מתאים לציוד סמיקונדוקטורי סטנדרטי, אך יש לוודא את החיבורים והשליטה במהלך ההפעלה, כך שהוא יתאים למערכות הפיקוח שלכם.