クラス100のグローブボックス内で適切な加熱を行うには、単に高い出力を得るだけでは不十分です。実際に重要なのは、目に見えない微細な粒子や化学ガスと戦うことです。
一般的な加熱要素は、温度が上がると剥がれ落ちたり、VOCを放出したりする傾向があります。これはクリーンルームにおいて大きな問題です。そのようなことを防ぐために、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用します。
清潔さの維持
私たちは、シリカ含有量が高い溶融石英を使用しています。なぜかというと、繰り返し加熱・冷却されても埃が出たり、劣化したりしないからです。
多くのヒーターでは安価なガラスや金属製のケースが使われていますが、これらは酸化して剥がれ落ちてしまいます。もしその破片が半導体ウェーハに付着したり、真空状態を乱したりすれば、生産された製品は全てダメになってしまいます。
また、石英管の表面のイオンを除去するために化学的な処理も行います。これにより、ランプが汚染源になるのを防ぎ、環境に与える影響を最小限に抑えることができます。
加熱と真空状態
赤外線の利点は、熱が直接対象物に届く点です。そのため、グローブボックス内の空気が温まることはなく、すべてが安定した状態を保たれます。さらに、このランプは急速に温度が上がります。加熱待ちの時間が短くなるほど、何か問題が起こる可能性も低くなります。
ただし、注意点もあります。出力密度をしっかり管理する必要があります。高ワット数のランプは速く加熱できますが、冷却システムに大きな負担をかけます。もし熱交換器がその負荷に耐えられなければ、内部圧力が上昇してしまいます。つまり、バランスを取る必要があるのです。
設置と注意点
私たちは標準的なコネクタを使用しているため、ランプが壊れても簡単に交換できます。制御キャビネットを分解して配線を再接続する必要はありません。また、サイズも小さいため、狭いグローブボックス内にも設置可能です。
しかし、注意点があります。高純度の石英はもろく、取り扱いに注意が必要です。設置時に少しでもミスがあると、管が割れてしまいます。そうなってしまうと、再び生産を始める前に、チャンバー全体をきれいに掃除する必要があります。
本当に、毎回、綿棒の入っていない手袋を使ってください。