IR 램프가 생산 공정을 망치는 것을 막아야 합니다.
솔직히 말해서, 고부하가 걸리는 생산 환경에서 IR 램프가 폭발한다면 그건 정말 끔찍한 상황입니다. 단순히 히터가 작동하지 않는 문제가 아닙니다. 석영관이 파손되면 마치 유리 수류탄처럼 되어서, 그 파편들과 화학 물질들이 생산 라인 전체에 퍼져나갑니다. 웨이퍼를 가공하는 사람들에게는 이는 치명적인 재앙입니다. 2차 오염이 발생하고, 한 번에 제품 전체가 버려지게 됩니다.
왜 이런 일이 일어나는가?
높은 와트수의 램프는 지속적인 열 스트레스를 받습니다. 대부분의 경우, 파손은 밀봉 부분과 금속이 만나는 곳에서 발생합니다. 석영관이 깨지면 할로겐 가스가 새어 나오고, 필라멘트도 순식간에 타버립니다. 그러면 현장은 엉망이 됩니다.
클린룸에서는 램프가 폭발한 후에 그냥 청소할 수 없습니다. 입자들이 실리콘에 닿는 것을 미리 막아야 합니다.
우리가 취하는 조치들
우리는 더 이상 운에 맡기지 않기로 결정했습니다. 히팅 요소 주위에 보호 캡과 강화된 케이스를 설치했습니다. 이는 일종의 물리적 방어막 역할을 합니다. 내부 램프가 폭발해도 유리 파편들은 캡 안에 갇히게 됩니다. 외부 케이스는 나머지 파편들을 막아주므로, 생산 공간에 파편들이 퍼지는 것을 막을 수 있습니다.
또한, 고순도의 융합 석영을 사용하여 빠른 열 변화에도 변형되지 않도록 했습니다. 게다가, 엔드 캡의 밀폐성도 강화했습니다. 이를 통해 가스 누출을 막을 수 있으며, 램프가 너무 일찍 고장나는 것을 방지할 수 있습니다.
실제로 고려해야 할 점들
문제는, 이러한 보호 캡을 추가하면 적은 양의 적외선이 손실된다는 것입니다. 따라서 벌거벗은 램프를 사용할 때와 같은 100%의 열 전달 효율을 얻을 수는 없습니다. 목표 온도에 도달하기 위해 가열 시간을 조절하거나 전력을 높여야 할 수도 있습니다. 하지만 솔직히 말해서, 전체 생산 공정을 멈추고 대대적인 청소를 해야 하는 것보다는 그 정도의 희생은 감수할 만합니다.
설치 시 유용한 팁들
이러한 램프들을 안정적인 전압 조절 기능이 있는 시스템에 연결해야 합니다. 전압의 급격한 변동은 램프의 수명을 단축시키고 파손 가능성을 높입니다. 또한, 냉각 팬도 반드시 적절한 성능을 갖추고 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 하우징이 과열되어 다시 처음부터 시작해야 합니다.