웨이퍼 가공 과정에서 에너지를 낭비하지 마세요.
솔직히 말해서, 반도체 공장에서 에너지를 낭비하는 것은 결국 돈을 낭비하는 것과 같습니다.
대부분의 표준 IR 램프는 효율이 매우 낮습니다. 이러한 램프들은 에너지를 모든 방향으로 방출하기 때문에, 사용된 에너지의 절반은 제품을 가열하는 대신 공기나 기계 프레임을 뜨겁게 만듭니다.
이 문제를 해결하기 위해 금을 활용합니다. 외관상의 이유가 아니라 물리적 원리 때문입니다. 석영 케이스의 뒷면에 고순도 금층을 코팅함으로써, 적외선 에너지가 앞쪽으로만 전달되도록 합니다.
실제 작동 원리
금은 적외선에 있어서 매우 효과적인 물질입니다. 금은 그 파장의 98% 이상을 반사합니다. 마치 거울과 같죠. 텅스텐 필라멘트가 열을 발생시킬 때, 금층이 그 열을 받아내어 웨이퍼 쪽으로 직접 보냅니다.
가장 좋은 점은, 전력 비용을 높이지 않고도 웨이퍼에 더 많은 열을 가할 수 있다는 것입니다. 이미 있는 자원을 더 효율적으로 사용하는 것이죠.
단점들
물론, 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 에너지를 한 점에 집중시키면 웨이퍼의 가장자리 부분도 영향을 받습니다. 온도 분포가 제대로 되지 않으면 특정 부분이 과열될 수 있습니다. 따라서 냉각 시스템이 그러한 과열을 감당할 수 있도록 해야 합니다. 또한 금층은 반드시 균일해야 하며, 그렇지 않으면 웨이퍼에 줄무늬가 생길 수 있습니다. 이는 아무도 원하지 않는 문제입니다.
공장에 설치하는 방법
이 제품들은 기존의 IR 히터를 간단하게 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 전체 시스템을 재설계할 필요가 없습니다. 설치가 완료되면, 작동 전압을 낮춰 램프의 수명을 연장할 수도 있고, 현재의 전압을 그대로 유지하면서 처리 시간을 단축할 수도 있습니다. 이렇게 하면 각 와트당 더 많은 작업을 할 수 있습니다.