Menghentikan masalah kerosakan tiub pemanas semasa proses pengeringan wafer
Dalam kilang pembuatan semikonduktor, kerosakan pada satu tiub pemanas sahaja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan kumpulan wafer yang sedang diproses. Ini merupakan bencana yang besar. Apabila tiub inframerah pecah akibat beban yang berlebihan, bukan sahaja proses penghasilan wafer terhenti, tetapi serpihan kaca dan gas halogen juga akan mencemarkan produk tersebut.
Kami membina tiub pemanas inframerah yang berkualiti tinggi agar perkara ini tidak berlaku.
Menjaga kebersihan wafer
Kebanyakan tiub pemanas rosak akibat perubahan voltan yang mendadak. Tekanan yang berlebihan pada kaca menyebabkan tiub pemanas tersebut rosak. Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan kaca kuarsa berkualiti tinggi dengan ketebalan dinding yang sesuai untuk menahan tekanan haba. Selain itu, lapisan pelindung turut digunakan untuk melindungi wafer daripada serpihan kaca. Dengan cara ini, wafer akan tetap bersih.
Menguruskan masalah haba
Penggunaan tenaga yang tinggi dalam ruang yang kecil akan menghasilkan haba yang sangat tinggi. Jika bekalan kuasa terputus, akan timbul titik-titik panas. Titik-titik panas inilah yang menyebabkan tiub pemanas pecah. Oleh itu, kami memastikan tiub pemanas beroperasi dalam julat voltan yang ketat. Ini membolehkan haba tersebar secara merata di seluruh tiub pemanas.
Namun, sistem penyejukan juga perlu berfungsi dengan baik. Jika badan tiub pemanas menjadi terlalu panas, bahan pengedapnya akan rosak, dan jangka hayat tiub pemanas akan berkurangan.
Perkara-perkara kecil yang penting
Kami menggunakan sambungan dan bracket standard kerana tekanan mekanikal boleh merosakkan tiub pemanas. Saya pernah melihat kejadian ini berlaku berkali-kali—seseorang memasang tiub pemanas terlalu ketat, sehingga menyebabkan tekanan yang berlebihan. Selepas satu kitaran haba, tiub pemanas tersebut akan pecah.
Montaj tiub pemanas kami direka agar kaca dapat mengembang dan mengecut secara semula jadi.
Satu lagi tips: gantikan tiub pemanas tersebut semasa waktu rehat yang telah ditetapkan. Jangan biarkan tiub pemanas beroperasi sehingga ia rosak. Perhatikan penurunan kuasa yang berlaku; ini merupakan cara termudah untuk mengesan masalah sebelum ia merosakkan hasil pengeluaran anda.