На этапе литографии процессы мягкой и жесткой обработки не являются просто термическими операциями. Это скорее способы контроля размеров деталей на пластине. Изменение температуры на уровне 2°C может привести к изменению критических размеров деталей; к тому же одна-единственная частица, образовавшаяся в зоне высоких температур, может повредить всю партию продукции. Поэтому мы разработали модуль инфракрасного нагрева с зонированным управлением, который позволяет поддерживать необходимую температуру в нужных местах, без привнесения загрязнений.
Модуль использует излучатели коротковолнового инфракрасного излучения, расположенные в отдельно управляемых зонах, соответствующих геометрии пластины. На поверхности пластины температура остается стабильной в пределах ±0,1°C, а точность воспроизведения температуры — ±0,2°C между разными партиями продукции. Зона высоких температур остается чистой: для минимизации выделения газов используются кварцевые элементы и отражатели. Благодаря такой конструкции во время стабильной работы не образуется никаких частиц. В чистых комнатах класса 1–100 этот модуль обеспечивает стабильные условия нагрева без увеличения количества частиц. Это позволяет улучшить качество фотополимерного слоя и снизить вариации его параметров внутри одной партии продукции.
Такой подход позволяет значительно сократить энергопотребление, поскольку избегается необходимость нагрева всей камеры. Модуль имеет модульную конструкцию, что позволяет быстро заменять его во время профилактического обслуживания, тем самым минимизируя периоды простоя оборудования.
Установка модуля заключается в правильном расположении его относительно интерфейса оборудования и системы вентиляции. Необходимо настроить модуль так, чтобы он находился на правильном месте, а также обеспечить необходимый поток воздуха для изоляции зоны высоких температур. Модуль соответствует стандартным размерам полей для размещения полупроводникового оборудования. Однако при запуске оборудования необходимо проверить правильность подключения проводов и настройки управления, чтобы все соответствовало требованиям вашей системы управления производством.