Temiz odanızda ısı kaybını durdurun
Wafer işlemleri sırasında her watt önemlidir. Eğer silikon yüzeyi ısıtıyorsanız ve bu enerji her yöne dağılıyorsa, bu durumda enerjiyi boşa harcamış olursunuz. Sadece “ısı”ya ihtiyacınız yok; bu enerjinin tam olarak gereken yere ulaşması gerekiyor.
Sorun nedir?
Çoğu standart yansıtıcı, fazla miktarda kızılötesi enerjinin iç kısmına sızmasına izin veriyor. Bunu düzeltmek için altın kullanıyoruz.
Neden altın?
Çünkü altın, alüminyum veya parlak çelikten çok daha iyi şekilde kızılötesi radyasyonu yansıtır. Yansıtıcı üzerine yüksek saflıkta altın tabaka yerleştirerek, fotonların dağılmasını engelleriz. Böylece fotonlar tekrar waferin üzerine yönlendirilir.
Sonuç ne olur?
Daha düzenli bir ısı dağılımı elde edilir. Isıya ulaşma süresi kısalır ve ekipmanla mücadele etmek zorunda kalmazsınız.
Dengeyi sağlamak
Tüm çalışma alanını fırına çevirmeden istenen yüzey sıcaklıklarına ulaşabilmek için yüksek güç yoğunluğu gereklidir. Ancak burada bir sorun var: Bu kadar yüksek gücü küçük bir alana sığdırdığınızda, kuvars kabuk zarar görür. Bu yüzden lambanın boyutunu ve voltajını ayarlamak için çok zaman harcarız.
Dikkat edilmesi gerekenler
Bu lambalar kolayca değiştirilebilecek şekilde tasarlanmıştır. Ancak altın kaplama oldukça hassastır. Eğer bir teknisyen yansıtıcıya çıplak ellerle dokunursa, cildinden gelen yağlar yüzeye yapışır. Bu da “sıcak noktalar” oluşturarak tüm sistemin verimliliğini düşürür. Her seferinde lifsiz eldiven kullanın.
Son bir nokta: Altın kaplı lambalar ısıyı çok iyi yoğunlaştırabildiğinden, soğutma sisteminizin de buna uyum sağlaması gerekir. Eğer fanlar veya ısı emiciler yetersizse, kabuk tüm ısıyı emecektir. Bu durumda sıcaklık sensörleri hatalı ölçümler yapmaya başlar ve işlem süreciniz altüst olur. Lambaları kullanmadan önce hava akışını kontrol edin. Bu sayede ileride büyük sorunlar yaşamazsınız.