Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trong phòng làm việc sạch của bạn đi!
Khi thực hiện các công việc xử lý wafer, mỗi watt năng lượng đều rất quan trọng. Nếu bạn sưởi ấm bề mặt silic trên bàn làm việc, và năng lượng đó bị tỏa ra khắp nơi, thì bạn đang lãng phí năng lượng một cách vô ích. Bạn không chỉ cần nhiệt lượng mà còn cần năng lượng được chuyển trực tiếp đến vị trí cần thiết.
Vấn đề là gì? Hầu hết các tấm phản xạ thông thường để cho quá nhiều năng lượng hồng ngoại thoát ra ngoài. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng vàng.
Tại sao lại là vàng?
Rất đơn giản: Vàng có khả năng phản xạ bức xạ hồng ngoại tốt hơn nhiều so với nhôm hoặc thép được mài nhẵn. Bằng cách phủ lớp vàng có độ tinh khiết cao lên bề mặt tấm phản xạ, chúng ta có thể ngăn chặn việc các photon bị tán xạ. Thay vào đó, chúng sẽ được chuyển trực tiếp về phía wafer.
Kết quả là nhiệt độ được kiểm soát tốt hơn. Quá trình xử lý diễn ra nhanh hơn, và bạn không cần phải chiến đấu với thiết bị để đạt được nhiệt độ mong muốn.
Việc cân bằng năng lượng
Để đạt được nhiệt độ cần thiết mà không khiến toàn bộ bàn làm việc trở thành “lò nướng”, chúng ta cần tăng mật độ năng lượng. Nhưng có một vấn đề: Khi dồn quá nhiều năng lượng vào một không gian nhỏ, lớp vỏ bằng thạch anh sẽ bị hư hại. Đó là một thách thức lớn. Chúng tôi phải dành nhiều thời gian để điều chỉnh chiều dài dây tóc và điện áp, nhằm đảm bảo rằng dây tóc không bị hỏng sớm.
Một số điều cần lưu ý
Những bóng đèn được phủ lớp vàng này được thiết kế để dễ dàng thay thế. Nhưng lớp vàng này rất nhạy cảm. Nếu kỹ thuật viên chạm vào bề mặt tấm phản xạ bằng tay trần, dầu từ da họ sẽ bám vào bề mặt, tạo ra những “điểm nóng”, từ đó làm giảm hiệu quả hoạt động của toàn bộ hệ thống. Hãy sử dụng găng tay không vải mỗi lần sử dụng.
Cuối cùng, vì những bóng đèn được phủ lớp vàng này có khả năng tập trung nhiệt rất tốt, nên hệ thống làm mát cũng cần phải hoạt động hiệu quả. Nếu quạt hoặc bộ tản nhiệt yếu, toàn bộ nhiệt lượng sẽ được hấp thụ bởi vỏ bóng đèn. Khi đó, các cảm biến nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng, và quy trình xử lý sẽ bị gián đoạn. Hãy kiểm tra dòng không khí trước khi sử dụng chúng. Điều này sẽ giúp bạn tránh được nhiều rắc rối sau này.