オーブンを待つ必要はありません。なぜ金コーティングされた赤外線ランプが効果的かというと、以下の通りです。
正直言って、強制対流によってウェーハを加熱するのは時間がかかります。実際には、空気を加熱し、その空気が最終的にウェーハに十分なエネルギーを伝えてくれることを期待しているわけです。これは遅く、面倒な作業です。半導体工場では、このような遅延は生産性を著しく低下させます。
私たちは、もっと良い方法を見つけました。空気に頼る代わりに、金コーティングされた短波長赤外線ランプを使って、放射によって熱を移動させるのです。
鍵は金にあります。 通常の石英ランプは、360度に向けて光を放つため、エネルギーが無駄になります。しかし、管の内部に金をコーティングすることで、それは鏡のように機能し、赤外線エネルギーを前方向に集中させます。そうすることで、全体的な光から集中したビームへと変わります。
その結果、機械のケースやオーブンの壁を加熱するためのエネルギーが無駄にならず、熱が直接ウェーハに届きます。
なぜこれが熱風より優れているのか 赤外線は「ウォームアップ期間」がありません。即座にターゲットに到達します。 一方、熱風は熱慣性のために時間がかかりますが、赤外線は直接半導体材料に浸透します。これは天と地ほどの違いです。エネルギーの伝達が直接行われるため、サイクルタイムが大幅に短縮されます。温度を数秒で上げたり下げたりできます。非常に効率的です。
注意点（完璧なものはないので） 高密度の赤外線加熱も、魔法の杖のようなものではありません。注意すべき点があります。 大量のエネルギーが一点に集中するため、その場所が急速に高温になります。冷却ファンやヒートシンクが十分でなければ、部品が溶けたりセンサーが壊れたりします。 また、古い設定で放置しておくわけにもいきません。PIDコントローラを調整して、ランプの反応速度に合わせる必要があります。そうしないと、目標温度を超えてしまいます。 私たちは、これらのランプを、古くて使いにくい対流式オーブンの簡単な代替品として設計しました。新しい工場を建設することなく、既存のスペースを最大限に活用できるのです。