クォーツ製のシールドを使って、ファブ内のランプの性能を最大限に引き出そう
もしあなたが半導体ファブを運営しているのであれば、IR加熱ランプは、ウェハの加熱や硬化処理において不可欠な存在です。しかし、カーボンニュートラルを実現したいのであれば、単にランプを交換するだけでは不十分です。全体の熱管理を考慮する必要があります。
ここで役立つのが高純度のクォーツガラス製のシールドです。これらは加熱要素を保護するだけでなく、熱がどのように伝わるかも制御します。
エネルギーの無駄遣いを止めよう
クォーツシールドは、まるでスマートなバリアのようなものです。ハロゲンフィラメントとファブの他の部分との間に位置し、高純度であるため、短波長のIR放射線はガラスに吸収されずにそのまま通過します。つまり、より多くの熱がウェハに届き、装置内部への熱の漏れが大幅に減少します。装置を巨大な暖房器具として使わなくなれば、冷却装置の負担も軽減され、電気代も削減できます。簡単ですよね。
安価な材料の危険性
私たちが低不純物含有量の融成石英を使用するのには理由があります。クリーンルームでは、安価なシールドから発生するわずかなガスや粒子でも、生産効率を著しく低下させてしまいます。それは本当に厄介な問題です。
また、これらのシールドは急速な加熱や冷却に耐えられる必要があります。もしシールドが曇ったり壊れたりすると、熱の分布が乱れてしまいます。その場合、補うためにランプの出力を上げようとしますが、それはフィラメントを早く劣化させるだけです。結果として、廃棄物が増え、停止時間も長くなります。
最適な条件を見つける
これはバランスを取る必要がある作業です。透過率が高ければ、より高い熱密度が得られ、より速く加熱できます。しかし、高強度のIR光は時間が経つにつれて表面を汚してしまいます。また、シールドの厚さも重要です。厚いシールドは耐久性が高く、設置時の衝撃にも耐えられますが、IR光の透過量は少なくなります。自分の生産スピードやシステムの清掃頻度に合った厚さを選ぶ必要があります。