در کارخانههای تولید، حتی کمترین تغییر دما در محفظه خشککن، به اندازهای است که باعث از بین رفتن کل محموله محصول شود. ویفرها پس از خروج از محفظه تمیزکننده، هنوز حاوی مقدار کمی رطوبت هستند؛ بنابراین مراحل بعدی مانند پخت نرم، پخت سخت یا حذف ذرات روی سطح ویفر، فرصتی برای تغییرات دمایی باقی نمیگذارند. ما سیستم گرمایشی مورد استفاده برای خشککردن ویفرها را طوری طراحی کردهایم که بتواند با این شرایط کنار بیاید، نه اینکه بعداً با آن مقابله کند.
چه چیزهایی مهم هستند؟ این گرمکن از الیمنتهای مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکند؛ این الیمنتها سریع واکنش نشان میدهند. در سطح فعال، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین پروفایلهای فوتورزیست نیز از یک محموله به محموله دیگر تغییر نمیکنند. این دستگاه مناسب برای استفاده در اتاقهای تمیز از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ است؛ همچنین از موادی با میزان گاز خروجی کم و سطحی که ذراتی را رها نمیکند، استفاده شده است. در محیطهای مناسب، این دستگاهها بدون هیچ توقفی شبانهروز کار میکنند؛ همچنین تکرارپذیری دما در هزاران چرخه نیز حفظ میشود.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟ میزان انرژی مورد نیاز برای خشککردن ویفرها و پخت فوتورزیست بسیار محدود است. این گرمکن میتواند سرعت لازم برای افزایش دما را داشته باشد، بدون اینکه باعث تغییرات ناخواسته در ضخامت لایههای مربوطه شود. استفاده از امواج مادون قرمز، باعث کاهش مصرف انرژی میشود؛ همچنین تعمیرات کمتری نیاز است. برای مهندسان، این امر به معنای بازدهی بالاتر، کنترل بهتر کیفیت محصول، و استفاده از دستگاهی است که مطابق با استانداردهای تجهیزات نیمههادی باشد، بدون نیاز به تغییرات در سیستم.
چه چیزهایی باید در هنگام نصب در نظر گرفت؟ باید هندسه محفظه و جریان هوا را در نظر بگیرید. ما نقشههای ابعادی، قطعات لازم برای نصب، و پروفایلهای تنظیمی را فراهم میکنیم؛ اما قبل از استفاده اولیه، باید رابط دستگاه را بررسی کنید. مسیر خروج هوا را نیز باید باز نگه داشت تا از بازگشت هوا جلوگیری شود؛ همچنین رطوبت و میزان ذرات موجود در محیط نیز باید در محدوده مشخصی باشد. پس از انجام آزمایشهای کوتاه، میتوانید با اطمینان از دستگاه استفاده کنید.