लिथोग्राफी प्रक्रिया में, तापमान संबंधी उतार-चढ़ावों से बचना असंभव है। यदि तापमान में थोड़ा भी अंतर आ जाए, तो इसका प्रभाव वेफर के आयामों पर पड़ता है। कोटर-डेवलपर मशीनें ओवन के तापमान संतुलित होने का इंतजार नहीं करतीं; वे लगातार काम करती रहती हैं। यदि हीटर निरंतर तापमान बनाए रखने में असफल रहता है, तो फोटोरेसिस्ट की संरचना में परिवर्तन हो जाता है, जिससे दोषों की संख्या भी बढ़ जाती है।
हमने क्या बनाया, और यह क्यों महत्वपूर्ण है?
हमने यह इन्फ्रारेड हीटर शॉर्ट-वेव लैंपों एवं क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल डिज़ाइन के उपयोग से बनाया। क्योंकि प्रतिक्रिया समय एवं नियंत्रण ही इस उपकरण की खूबियाँ हैं। वेफर की सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ हर बार समान रहती हैं। यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही काम कर सकता है; क्योंकि इसकी संरचना ऐसी है कि इससे कोई कण नहीं निकलता, न ही कोई संदूषण होता है। इसकी विश्वसनीयता इस बात पर निर्भर है कि यह 24/7 काम कर सकता है या नहीं… इसके घटकों का चयन 24/7 काम करने हेतु ही किया गया है, एवं थर्मल सिस्टम निरंतर तापमान बनाए रखता है।
कोटर-डेवलपर उपकरणों में…
कोटर-डेवलपर उपकरणों में, “बेक मॉड्यूल” ही उत्पादन दर एवं गुणवत्ता के बीच संतुलन बनाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। हमारा इन्फ्रारेड हीटर वेफर को तेजी से तापमान तक पहुँचाता है, एवं उस तापमान को बनाए रखता है… इससे चक्र समय कम हो जाता है, एवं सब्सट्रेट पर थर्मल तनाव भी कम हो जाता है। इससे वेफर की सतह पर तापमान संबंधी उतार-चढ़ाव कम हो जाते हैं, फोटोरेसिस्ट की संरचना भी बेहतर रहती है, एवं लाइन-विड्थ भी नियंत्रित रहती है। इसके अलावा, वॉर्म-अप एवं स्थिर अवस्था में ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है… क्योंकि इसमें कोई संपर्क-आधारित घिसाव नहीं होता।
उपयोग से पहले कुछ व्यावहारिक बातें…
यह हीटर सामान्य कोटर-डेवलपर प्लेटफॉर्मों में ही उपयोग में आ सकता है… लेकिन आपको उपकरण की भौतिक संरचना एवं माउंटिंग विवरणों की जाँच अवश्य करनी होगी… ताकि तापमान संतुलित रह सके। यदि सब कुछ सही हो जाए, तो इसका एकीकरण आसान ही हो जाएगा… लेकिन यदि दूरियाँ सही न हों, तो तापमान संबंधी समस्याएँ हो सकती हैं। रिट्रोफिटिंग कार्य को किसी नियोजित मरम्मत के समय ही करें… एवं यह भी सुनिश्चित करें कि क्लीनरूम में हवा का प्रवाह ऐसा हो कि लैंप के आसपास कोई गर्म/ठंडा क्षेत्र न बने।