클래스 100 글로브박스 내에서 적절한 열을 공급하는 방법
클래스 100 글로브박스 내부를 가열할 때 중요한 것은 단순히 강력한 열을 공급하는 것이 아닙니다. 진짜 문제는 눈에 보이지 않는 미세한 입자들과 화학 기체들입니다.
일반적인 가열 장치들은 열이 가해지면 쉽게 부서지거나 VOC를 방출하는 경향이 있습니다. 이는 청정실에서는 치명적인 문제입니다. 이를 막기 위해 우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용합니다.
청결을 유지하기
우리는 규소 함량이 높은 융합 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이 재료는 반복적으로 가열되고 냉각될 때도 부서지거나 먼지가 생기지 않기 때문입니다.
많은 가열기들은 저가의 유리나 금속으로 만들어져 있습니다. 이러한 재료들은 산화되어 벗겨지기 쉽습니다. 만약 그러한 조각들이 반도체 웨이퍼 위에 떨어지거나 진공 상태를 해친다면, 전체 제품이 망가집니다.
또한 우리는 석영 튜브의 표면에 있는 이온들을 제거하기 위해 화학적 세척을 합니다. 이렇게 하면 램프가 오염원이 되는 것을 방지할 수 있습니다.
열과 진공
적외선의 장점은 열이 목표물에 직접 전달된다는 것입니다. 그래서 글로브박스 내부의 공기가 따뜻해지지 않아 모든 것이 안정적으로 유지됩니다. 게다가 이러한 램프들은 빠르게 열을 발생시킵니다. 열이 오를 때까지 기다리는 시간이 줄어들수록 문제가 발생할 가능성도 줄어듭니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 바로 전력 밀도입니다. 고출력 램프는 빠른 가열에는 유용하지만, 냉각 시스템에 큰 부담을 줍니다. 만약 열교환기가 필요한 열량을 감당하지 못한다면 내부 압력이 상승할 것입니다. 이는 균형을 맞춰야 하는 문제입니다.
설치와 주의사항
우리는 표준 연결장치를 사용하기 때문에, 램프가 고장 나더라도 제어 캐비닛을 분해하거나 다시 배선할 필요가 없습니다. 또한 크기가 작아서 좁은 글로브박스 내부에도 쉽게 설치할 수 있습니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 고순도 석영은 매우 깨지기 쉽습니다. 설치 과정에서 조금만 실수해도 튜브가 깨질 수 있습니다. 그렇게 되면 생산을 재개하기 전에 전체 챔버를 청소해야 합니다.
정말로, 항상 먼지가 없는 장갑을 사용하세요.