산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터

제조 현장에서는 건조실의 온도가 1°C만 변동해도 전체 제품을 폐기해야 합니다. 웨이퍼는 깨끗한 상태에서 나오지만 여전히 약간의 수분이 남아 있습니다. 그 다음 단계인 소프트 베이크나 하드 베이크, 엣지 비드 제거 과정에서는 온도 변동을 허용할 수 없습니다. 저희는...