Hentikan pembaziran tenaga haba di bilik bersih anda
Ketika bekerja dengan proses pemprosesan wafer, setiap watt tenaga sangat penting. Jika anda memanaskan substrat silikon di atas meja kerja, dan tenaga tersebut tersebar ke segala arah, maka itu merupakan pembaziran tenaga. Anda bukan sahaja memerlukan haba, tetapi juga tenaga yang sampai tepat ke tempat yang sepatutnya.
Masalahnya? Kebanyakan reflektor biasa membiarkan terlalu banyak tenaga inframerah meresap ke dalam badan peralatan tersebut. Untuk mengatasi masalah ini, kita menggunakan emas.
Mengapa emas?
Ia mudah saja. Emas mampu memantulkan sinar inframerah dengan lebih baik berbanding aluminium atau keluli yang telah diproses. Dengan meletakkan lapisan emas yang berkualiti tinggi pada reflektor, kita dapat menghalang foton-foton tersebut daripada tersebar. Sebaliknya, foton-foton tersebut akan kembali ke wafer.
Hasilnya, suhu yang dihasilkan menjadi lebih tepat. Prosesnya juga menjadi lebih cepat. Anda dapat mencapai suhu yang diinginkan dengan lebih cepat, tanpa perlu berjuang melawan peralatan tersebut.
Keseimbangan yang diperlukan
Untuk mendapatkan suhu permukaan yang diinginkan tanpa menjadikan seluruh meja kerja sebagai “dapur”, kita perlu menggunakan kepadatan tenaga yang tinggi. Namun, ada cabarannya. Apabila terlalu banyak tenaga dimasukkan ke dalam ruang yang kecil, lapisan kuarsa akan rosak. Ini merupakan situasi yang berisiko. Kita perlu mengubah panjang filamen dan voltan secara berterusan agar filamen tidak rosak terlalu awal.
Beberapa perkara yang perlu diperhatikan
Reflektor ini direka untuk diganti dengan mudah. Namun, lapisan emas pada reflektor ini sangat sensitif. Jika teknisi menyentuh reflektor dengan tangan kosong, minyak dari kulit mereka akan melekat pada permukaan reflektor. Ini akan menyebabkan “titik panas” dan mengurangkan kecekapan sistem secara keseluruhan. Gunakan sarung tangan yang bebas bulu setiap kali.
Satu lagi perkara yang perlu diperhatikan. Kerana reflektor yang dilapisi emas ini sangat efektif dalam menumpukan haba, sistem penyejukan perlu berfungsi dengan baik. Jika kipas atau alat penyejuk tidak berfungsi dengan baik, badan peralatan akan menyerap semua haba tersebut. Apabila ini berlaku, sensor suhu akan memberikan bacaan yang tidak tepat, dan proses pemprosesan akan terganggu.
Periksa aliran udara sebelum memasang reflektor ini. Ini akan membantu anda mengelakkan masalah yang lebih besar nanti.