在100级洁净室中正确控制温度的方法
当在100级洁净室中对物品进行加热时，关键并非使用高功率的加热器。真正的挑战在于如何应对那些肉眼看不见的微粒和化学气体。
普通加热元件在受热时很容易出现破损或释放出VOCs的情况，这在洁净室里是件大问题。为避免这种情况，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。
保持洁净
我们使用含硅量高的熔融石英材料。因为这种材料在反复加热和冷却过程中不会产生灰尘或分解。许多加热器则使用廉价的玻璃或金属外壳，这些材料容易氧化和破裂。如果这些碎屑落在半导体芯片上或破坏真空密封，那么整个产品批次都会报废。此外，我们还会对石英管进行化学处理，以去除表面的离子，从而确保其不会成为污染源。
热量与真空环境
红外灯的优点在于热量可直接传递到目标物体上，而不会让洁净室内的空气变暖，从而保持一切的稳定性。此外，这类灯的升温速度很快，这样就能减少等待加热的时间，进而降低出错的可能性。不过，需要注意的是要控制好功率密度。虽然高功率的灯能加快升温速度，但它会给冷却系统带来很大压力。如果冷却系统无法应对如此大的热量，内部压力就会上升。因此，需要找到合适的平衡点。
安装与注意事项
我们使用标准连接器，因此这些灯可以直接替换掉旧的部件。这样一来，每当灯泡损坏时，就无需拆解控制柜并重新布线。另外，这些灯的尺寸也很小，因此可以轻松安装在狭窄的洁净室空间内。不过，也有一个缺点：高纯度石英材料很脆弱，安装时稍有不慎就可能导致石英管破裂。一旦发生这种情况，就需要先清理整个腔室，才能再次开始生产。
务必每次都使用无绒手套。