بیایید درباره روش خشککردن ویفرها با استفاده از امواج مادون قرمز صحبت کنیم.
ما دیگر از فرهای سنتی استفاده نمیکنیم؛ به جای آن، از روش خشککردن با امواج مادون قرمز استفاده میکنیم. چرا؟ چون استانداردهای «سبز» و «بدون سرب» در کارخانههای مدرن، دیگر تنها پیشنهاداتی نیستند؛ بلکه قوانین اجباری هستند.
تفاوت بزرگ این روش در نحوه انتقال حرارت است؛ در این روش، به جای گرم کردن کل اتاق پر از هوا، حرارت مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشود.
این موضوع کاملاً مربوط به قوانین فیزیک است.
تصور کنید در یک روز سرد، نور خورشید روی پوست شما میتابد؛ شما نیازی ندارید منتظر گرم شدن هوای اطراف باشید؛ بلکه بلافاصله گرما را احساس میکنید. در روش IR نیز، از تشعشعات الکترومغناطیسی برای انتقال حرارت از لامپ به ویفر استفاده میشود؛ هیچ واسطهای وجود ندارد، و انرژی نیز هدر نمیرود.
سرعت خشککردن ویفرها بسیار بالاست؛ صرفاً چند ثانیه طول میکشد، نه چند دقیقه. اینجاست که صرفهجویی واقعی در مصرف انرژی اتفاق میافتد.
نکته مهم: فاصله بین لامپ و ویفر
این موضوع معمولاً مشکلاتی برای مهندسان ایجاد میکند؛ همه چیز به فاصله بین لامپ و ویفر بستگی دارد.
اگر فاصله خیلی کم باشد، ممکن است نقاط گرم ایجاد شود یا خود ویفر ذوب شود. اما اگر فاصله خیلی زیاد باشد، سرعت خشککردن ویفر کاهش مییابد و وقت اتلاف میشود. ما معمولاً این موضوع را با توجه به توان لامپ و جرم حرارتی ویفر تعیین میکنیم.
نکته آخر: امواج مادون قرمز با شدت بالا، فشار زیادی بر سیستمهای خنککننده وارد میکنند. اگر سعی کنید با افزایش توان لامپ، سرعت خشککردن ویفر را بالا ببرید، سیستمهای خنککننده باید به اندازه کافی قوی باشند تا حرارت را از لبههای ویفر دور کنند. اگر این کار امکانپذیر نباشد، ویفرها دچار تغییر شکل خواهند شد؛ و کسی این را نمیخواهد.