متوقف کنید این شکستگیها را: چرا طراحی منعکسکننده برای تولید ویفرها اهمیت دارد
در فرآیندهای تولید با بار بالا، خراب شدن لامپ، مشکل سادهای نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
وقتی لوله کوارتز خراب میشود، تکههای شیشهای و رسوبات هالوژنی به سمت ویفرها میافتند. یک بار خرابی کافی است تا کل محموله ویفرها از بین برود. به همین دلیل، ما منعکسکننده را صرفاً به عنوان یک آینه در نظر نمیگیریم؛ بلکه آن را به عنوان یک سپر در نظر میگیریم.
راز موفقیت در طراحی، شکل منعکسکننده است.
ما از طراحیهایی با سطوح پوشیده شده با آلومینیوم یا طلا با خلوص بالا استفاده میکنیم. هدف این است که حرارت را درست در جایی که لازم است، یعنی روی ویفر، تمرکز دهیم.
از آنجایی که جریان حرارتی بسیار متمرکز است، میتوانیم میزان واتاژ لامپ را کاهش دهیم، بدون اینکه دمای سطح ویفر کاهش یابد. و این همان مزیت است: کاهش واتاژ به معنای کاهش فشار بر روی کوارتز است؛ کاهش فشار به معنای کاهش خرابیهاست. ساده است.
مقابله با گرمای اضافی
در فرآیندهای تولید با بار بالا، دما بسیار بالا میرود. اگر منعکسکننده نتواند گرما را خارج کند، انتهای لامپ داغ میشود و سیستمهای مهارکننده خراب میشوند. برای جلوگیری از این امر، از سطوح آنودایزه شده استفاده میکنیم و فاصلههای خاصی برای تخلیه گرما در نظر میگیریم.
متوجه خواهید شد که ما محدودیتهای اطراف درپوش لامپ را بسیار سختگیرانه در نظر نمیگیریم؛ این کار را عمداً انجام میدهیم. شیشه در هنگام گرم شدن منبسط میشود؛ اگر فضای کافی برای حرکت وجود نداشته باشد، فشار مکانیکی در نهایت باعث شکستن لوله خواهد شد.
توازن مناسب
باید بگوییم که استفاده از سپرهای حفاظتی یا منعکسکنندههای عمیقتر، باعث کاهش کمی در انتقال امواج مادون قرمز میشود؛ شاید ۳ تا ۵ درصد از انرژی لامپ از دست برود.
اما باید روراست باشیم؛ وقتی با ویفرهایی به ارزش ۵۰ هزار دلار سروکار داریم، از دست دادن ۳ درصد از کارایی، قیمتی است که باید بپردازیم تا از خراب شدن محصولاتمان جلوگیری کنیم.
نکته آخر: حتماً فنهای خنککننده را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که اندازه آنها مناسب باابعاد منعکسکننده است. اگر جریان هوا مهار شود، گرما در لامپ تجمع خواهد کرد و لامپها سریعتر از حد معمول خراب خواهند شد.