
别再浪费洁净室里的热量了
在处理晶圆时,每一瓦特的能量都至关重要。如果只是将硅基板加热,而那些能量却四处散失,那无疑是在浪费能源。我们需要的不仅仅是热量,而是让能量精确地作用于目标位置。
问题在于:大多数普通的反射器会让大量红外能量泄漏到外壳中。为了解决这个问题,我们就使用黄金作为反射材料。
为什么选择黄金?
因为黄金能够比铝或抛光钢更有效地反射红外线。通过在反射器上涂覆高纯度的黄金层,就可以避免光子散射,让它们直接回到晶圆上。这样一来,热量分布会更加均匀,升温速度也会更快。
平衡之道
为了达到所需的表面温度,同时又不让整个工作台变成“烤箱”,我们必须提高功率密度。不过这也有风险:当这么多能量被集中在一个小空间内时,石英外壳就会承受巨大压力。因此,我们需要不断调整灯的长度和电压,以确保灯丝不会过早损坏。
需要注意几点
这些设备是设计为可直接替换的,因此更换起来很方便。但需要注意的是,黄金涂层非常娇贵。如果操作人员直接用手触摸反射器,皮肤上的油脂会附着在表面,从而导致“热点”现象,进而降低整个系统的效率。务必使用无绒手套来操作。
最后一点:由于这些镀金灯具有极强的集热能力,因此冷却系统必须能够跟上其需求。如果风扇或散热装置不够强大,那么外壳就会吸收所有热量。一旦出现这种情况,温度传感器的数据就会失真,进而影响整个加工流程。在安装这些设备之前,请先检查一下空气流动情况,这样才能避免日后出现麻烦。